电子显微学和电子束微分析、扫描探针显微术，以及和电子束微分析关联较多的表面分析、离子束微分析和X射线束微分析。在电子束微分析中，介绍了固体中入射电子的散射、扫描电子显微镜（SEM）和透射电子显微镜（TEM）中的微分析、固体中电子散射的蒙特卡罗模拟、TEM的像差和分辨率、电子显微像的各种衬度机制、高分辨透射电子显微像的相位衬度传递函数理论和原子级（亚埃级）分辨率球差校正TEM的进展。扫描探针显微术（包括扫描隧道电子显微术和多种原子力显微术）异军突起，分辨率在20世纪80年代前就达到了原子级。分析表面的电子显微术包括低能电子显微术、光电子（发射）显微术、反射电子显微术和俄歇电子显微术。离子束微分析中，介绍了入射离子束在固体中的散射、卢瑟福背散射谱、聚焦离子束仪和二次离子质谱。X射线束微分析中，介绍了同体对X射线的吸收、由此而来的光电子能谱、随后的弛豫过程引起的俄歇电子能谱和X射线荧光谱。

    7．8  电子全息术高分辨显微像<br>    全息术高分辨像利用全息术把高分辨像的振幅和相位同时记录下来，避免了一般高分辨像的相位失落问题，这是电子显微学的重要发展方向之一。<br>    同时记录显微图像的振幅和相位的全息概念是1948年Gabor首先提出来的，他还提出可以通过校正电子全息图中的像差以提高分辨率。20世纪50年代中期有人在电子显微镜中进行了尝试，由于当时的电子源的相干性不够，分辨率未能达到10nm以下。20世纪60年代激光发明后全息术在光学领域得到迅速发展，在此背景下1971年Gabor获得诺贝尔物理学奖。1968年Crewe发展了场发射电子源，使它的亮度提高了几个量级，从而可以显著减小电子源对物点的半张角，同时场发射源的能量涨落也显著减小，这两个因素使相干性大为改进，为电子显微全息术提供了技术基础。经过Tonomura和I．ichte等人的努力，电子显微全息术的分辨率达到0．2～0．1 nm，即达到高分辨电子显微术的原子级的分辨率水平。但是，电子显微全息术的操作过程复杂，不如最近10年发展起来的球差校正电子显微术。<br>    7．8．1  电子全息术<br>    全息术高分辨像首先将相干电子波一分为二，一束通过样品为物波，另一束不通过样品为参考波，两束波可以经折射在物镜后焦面或像面相互干涉形成傅里叶全息图或像面全息图。全息图还有同轴全息图和离轴全息图之分，前者的两束波和光轴平行，后者的两束波分别和光轴有相等、相反的小夹角。实验得出，分辨率最高的是离轴像面全息图。<br>    图7．21表示经过样品（用箭头表示）的准直的物波（右侧）和参考波（左侧）在物镜下后焦面会聚，随后以两束发散的电子波进入电子双棱镜（位于物镜后焦面和像面之间）。电子双棱镜由镀金的细石英丝和左右两个电极板组成，双棱镜两侧相反的电场使石英丝左侧发散的物波向右折射，使石英丝右侧发散的参考波向左折射，两个波在像面的重叠部分相互干涉，形成离轴像面全息图（用大箭头表不）。<br>    ……

前言<br>绪论<br>0.1 微分析学科的发展<br>0.2 学术交流的发展<br>0.3 学科期刊的发展<br>0.4 本书内容的安排<br>参考文献<br>第1章 有关的基础物理知识<br>1.1 有关的原子物理知识<br>1.2 有关的固体物理知识<br>1.3 有关的晶体衍射物理知识<br>参考文献<br>第2章 入射电子的弹性散射和非弹性散射<br>2.1 处理入射电子散射的量子力学方程<br>2.2 入射电子的微分弹性散射截面<br>2.3 入射电子的非弹性散射<br>2.4 原子对电子的散射截面和散射平均自由程<br>2.5 阻止本领和非弹性散射截面<br>2.6 介电函数方法<br>2.7 低能电子的非弹性散射平均自由程<br>2.8 低能电子的非弹性散射和能带结构的阈值效应<br>参考文献<br>第3章 电子束显微分析<br>3.1 扫描电子显微镜的主体结构与成像原理<br>3.2 场发射扫描电子显微镜的分辨率<br>3.3 扫描电子显微镜的信号<br>3.4 SEM中二次电子和背散射电子信号的采集及其能谱<br>3.5 透射电子显微镜（TEM）中显微像和衍射图样的获得<br>3.6 透射电子显微镜（TEM）的主要部件和成像模式<br>3.7 扫描电子显微像的形貌衬度<br>3.8 SEM中晶体取向的测定<br>3.9 X射线能谱（EDS）和波谱（WDS）分析<br>3.10 SEM中厚样品微区成分分析方法<br>3.11 TEM中薄膜微区成分EDS定量分析方法<br>3.12 薄膜微区成分的电子能量损失谱（EEl。S）定量分析<br>3.13 微区成分分析的空间分辨率和探测限<br>参考文献<br>第4章 固体中电子散射的蒙特卡罗模拟<br>4.1 蒙特卡罗方法简介<br>4.2 蒙特卡罗方法的基本原理和一般步骤<br>4.3 由已知概率分布进行的随机抽样<br>4.4 随机数与赝随机数<br>4.5 蒙特卡罗模拟固体中的电子散射<br>4.6 蒙特卡罗模拟固体中电子散射的一些结果<br>参考文献<br>第5章 电子显微像的像差和分辨率<br>5.1 成像原理中常用的傅里叶变换和卷积公式<br>5.2 透射电子束成像<br>5.3 磁透镜的像差<br>5.4 瑞利判据决定的显微像的分辨率<br>5.5 由电子束直径决定的扫描电子显微镜的分辨率<br>5.6 图像衬度（对比度）决定的显微镜分辨率<br>5.7 信息通过量密度决定的显微镜分辨率<br>5.8 分辨率的实验测量<br>5.9 离子显微镜的分辨率<br>参考文献<br>第6章 电子显微像的衬度<br>6.1 电子束的相干性和衍射振幅衬度<br>6.2 晶态和非晶态样品的衬度<br>6.3 衍射（振幅）衬度像<br>6.4 样品的质厚衬度和STEM中的2衬度<br>6.5 SEM中的各种不相干信号的衬度<br>参考文献<br>第7章 高分辨透射电子显微像<br>7.1 高分辨电子显微像（HREM）的形成<br>7.2 高分辨像形成过程中的衬度传递函数<br>7.3 高分辨像的点分辨率和信息分辨率<br>……<br>第8章 分析表现的电子显微术<br>第9章 扫描探针显微术<br>第10章 入射离子束和固体的作用<br>第11章 入射X射线束和固体的作用