本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积（ALD）技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。 本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用，也可作为高等院校相关专业师生的参考书。

1 原子层沉积（ALD）概述
1.1 原子层沉积技术原理
1.2 原子层沉积技术的特点
1.3 原子层沉积系统
1.3.1 横向流动式
1.3.2 垂直流动式
1.3.3 径向流动式
1.4 原子层沉积材料
参考文献
2 原子层沉积技术拓展
2.1 多金属源共馈ALD
2.1.1 多金属源共馈ALD原理
2.1.2 多金属源共馈ALD系统
2.1.3 多金属源共馈ALD沉积异质结构
2.2 等离子体增强ALD技术
2.2.1 多金属源共馈ALD原理
2.2.2 等离子体增强ALD的特点
2.2.3 等离子体增强ALD系统
2.2.4 等离子体增强ALD沉积材料
2.3 区域选择性ALD
2.3.1 多金属源共馈ALD原理
2.3.2 区域选择性ALD分类
2.3.3 流化床式ALD原理
2.3.4 流化床式ALD分类
2.4 空间ALD
2.5 电化学ALD
2.6 多功能ALD
参考文献
3 ALD应用于表界面性能调控
3.1 ALD应用于微纳表界面性能调控概述
3.2 ALD应用于表面摩擦性能调控
3.2.1 调控薄膜厚度
3.2.2 调控薄膜微结构
3.2.3 调控薄膜形貌
3.3 ALD应用于电磁特性调控
3.3.1 电磁屏蔽结构的ALD制造与调控
3.3.2 电磁特性调控
3.3.3 吸波和屏蔽机理
3.4 ALD应用于传感噪声调控
3.4.1 氮化硅表面修饰和氧化铝纳米孔的ALD制造与调控
3.4.2 氮化硅与氧化铝纳米孔DNA分子检测
3.5 ALD应用于NV色心量子特性调控
3.5.1 NV色心简介
3.5.2 TiO2涂层对NV色心光学特性调控
3.5.3 MoS2薄膜对NV色心光学特性调控
参考文献
4 ALD应用于表面增强拉曼散射调控
4.1 表面增强拉曼散射（SERS）概述
4.2 SERS传感器热点的ALD制造与调控
4.2.1 SERS热点的可控制造
4.2.2 SERS增强机制
4.2.3 SERS性能分析
4.3 SERS传感器生物检测应用
4.3.1 SERS生物传感器构筑
4.3.2 SERS生物传感应用验证
参考文献
5 ALD应用于电化学生物传感器
5.1 电化学（EC）生物传感器概述
5.2 MoS2薄膜的ALD制造与调控
5.2.1 高比表面积薄膜的可控制造
5.2.2 传感机理
5.2.3 MoS2薄膜生物传感应用验证
5.3 MoS2纳米管的ALD制造与调控
5.3.1 MoS2纳米管可控制造
5.3.2 传感机理
5.3.3 MoS2纳米管生物传感应用验证
参考文献
6 ALD应用于光电化学生物传感器
6.1 光电化学（PEC）生物传感器概述
6.2 光响应纳米通道的ALD制造与调控
6.2.1 光响应纳米通道可控制造
6.2.2 光响应通道电流传输调控
6.2.3 光响应纳米通道生物传感器应用验证
6.3 Pt/MoS2纳米管的ALD制造与调控
6.3.1 Pt/MoS2纳米管可控制造
6.3.2 单原子分布催化调控
6.3.3 Pt/MoS2纳米管酶反应生物传感应用验证
6.4 MoS2/ReS2异质结的ALD制造与调控
6.4.1 MoS2/ReS2异质结可控制造
6.4.2 MoS2/ReS2异质结的PEC性能调控
6.4.3 MoS2/ReS2异质结生物传感应用验证
参考文献
7 ALD应用于场效应管生物传感器
7.1 场效应管（FET）生物传感器概述
7.2 ReS2-MoS2异质结纳米管的ALD制造与调控
7.2.1 MoS2纳米管的可控制造
7.2.2 ReS2-MoS2超晶格纳米管的可控制造
7.2.3 生物传感器构筑
7.2.4 ReS2-MoS2超晶格纳米管生物传感应用验证
7.3 SWCNTs/MoS2复合薄膜的ALD制造与调控
7.3.1 SWCNTs/MoS2薄膜可控制造
7.3.2 生物传感器构筑
7.3.3 SWCNTs/MoS2生物传感应用验证
7.4 C60/MoS2薄膜的ALD制造与调控
7.4.1 C60/MoS2薄膜可控制造
7.4.2 生物传感器构筑
7.4.3 C60/MoS2生物传感应用验证
参考文献