随着科技的发展,微纳尺度通道内的流动问题越来越普遍,研究对象的微型化是近二十年来自然科学和工程技术发展的一个重要趋势,本章首先介绍微纳尺度通道流动中最典型的应用。与常规尺度通道内的流动问题相比,微纳尺度通道内的流动有其特殊的性质,本章接着介绍微纳尺度通道内流动的特点。<br> 1.1微纳尺度通道流动的应用<br> 关于“微通道”的概念,著名物理学家Feynman于1959年的美国物理学年会上有过一个经典的描述:“There’s plenty of room at the bottom”。在这个plenty of room里大有文章可做<br> 1.1.1微机电系统<br> Feynman在1959年的年会上还预言了微型机械将起的作用,并认为制造技术将沿两个途径发展,一是top。down的从宏观到微观的途径;另一是bottom-up的从最小构造模块的分子开始进行物质构筑的途径。如今,Feynman的这两个构想已成为现实。<br> 1.定义<br> 微型化是当今科技发展的一个重要特征2-4,微机电系统f:micro electro mechan ical systems,MEMS)是其中的一个典型例子。MEMS是指基于集成电路工艺设计制造并集电子元件与机械器件于一体的微小系统3但是,目前国际上对MEMS还没有一个统一的定义,美国学者将MEMS定义为由电子和机械元件组成的集成微器件和微系统,是采用和集成电路兼容的工艺所制造且可批量生产,能将计算、传感和执行融为一体从而改变感知和控制自然世界的系统,MEMS的尺度介于微米和毫米之间。日本学者将MEMS定义为由只有几毫米大小的功能元件组成、能执行复杂和细微工作的系统。欧洲学者将MEMS定义为具有微米级结构的产品,并具有微结构形状所能提供的技术功能。而中国学者将MEMS定义为是一种由微机械和微电子组成的装置,其中微机械被微电子所控制,大多数情况下含有微型传感器,可由微加工技术和集成电路工艺批量制造。
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