本书内容是近年来作者在郑州轻工业大学、四川大学从事DLC薄膜研究的成果和学习心得，希望能为其他研究者和企业在DLC薄膜的应用方面提供基础理论和技术经验。本书共分为7章：第1章简要介绍了类金刚石薄膜的发展史、组成、分类、结构模型、性质、生长机理、应用、制备方法以及应用中存在的问题、解决方法；第2章主要介绍了中频脉冲非平衡磁控溅射技术及研究过程中所使用的测试方法的原理、设备型号；第3章主要通过文献调研并结合作者的科研结果探索了一种拉曼光谱分析DLC薄膜中sp3含量的新经验模型；第4章主要介绍了基体偏压、梯度偏压、基体温度、中频电流、靶-基距对无氢的DLC薄膜的结构与性能的影响规律；第5章主要介绍了碳源气体、沉积气压、进气比例对含氢的DLC薄膜的结构与性能的影响规律；第6章主要介绍了在Ge和ZnSe基体上涂覆GexC1-x/DLC薄膜系前后透过率的变化、砂尘冲刷实验和淋雨实验结果；第7章对本书的研究结论进行了总结。

1 类金刚石薄膜简介
1.1 引言
1.2 类金刚石薄膜的发展史
1.3 类金刚石薄膜的组成
1.4 类金刚石薄膜的分类
1.5 类金刚石薄膜的结构模型
1.6 类金刚石薄膜的性质
1.7 类金刚石薄膜的生长机理
1.8 类金刚石薄膜的应用
1.9 类金刚石薄膜的主要制备方法
1.10 类金刚石薄膜在应用中存在的问题及解决方法
2 实验制备类金刚石薄膜的方法、设备与测试方法
2.1 中频脉冲非平衡磁控溅射
2.2 实验装置
2.3 分析方法
3 一种拉曼光谱分析类金刚石薄膜中sp3含量的新标准
3.1 一种拉曼光谱分析DLC薄膜中sp3含量的新标准的提出
3.2 小结
4 无氢的类金刚石（a-C）薄膜的结构与性能
4.1 基体偏压对a-C薄膜结构与性能的影响
4.2 梯度偏压对a-C薄膜结构与性能的影响
4.3 基体温度对a-C薄膜结构与性能的影响
4.4 中频电流对a-C薄膜结构与性能的影响
4.5 靶-基距对a-C薄膜结构与性能的影响
5 含氢的类金刚石（a-C:H）薄膜的结构与性能
5.1 碳源气体对a-C:H薄膜结构和性能的影响
5.2 沉积气压对a-C:H薄膜结构与性能的影响
5.3 进气比例对a-C:H薄膜结构与性能的影响
6 GexC1-x/DLC薄膜系的增透效果、砂尘冲刷和淋雨实验
6.1 Ge和ZnSe基体上涂覆GexC1-x/DLC薄膜系前后透过率的变化
6.2 GexC1-x/DLC薄膜系的砂尘冲刷实验
6.3 GexC1-x/DLC薄膜系的淋雨实验
6.4 小结
7 总结
参考文献