微系统是融合微电子、微光子、MEMS、架构和算法五大基础要素，采用系统设计的思想和方法，将传感、通信、处理、执行和微能源等五大功能单元，以微纳制造及工艺为基础的系统级封装集成在一起的具有多种功能的微装置。当前，微系统技术正在向从平面集成到三维集成、从微机电/微光电集成到异质混合集成、从结构/电气一体化集成到多功能一体化集成等方向发展，并正与生命科学、量子技术、微纳前沿交织融合，成为聚集前沿科技创新发展的重要领域。本书系统地介绍了微系统基本概念、发展背景及主要分类，重点介绍了电子元器件技术、集成技术、算法与架构、热管理技术等微系统关键技术，全面总结了国内外微系统的进展情况，分析了微系统的典型应用。
