《光电尺寸检测及应用技术》:
3.3.1 位置敏感器(PSD)及光源的选择
1.PSD选择
在激光三角法测量中,需要有一个精度较高的光电探测器,将像的位移转变成电信号,从而根据三角测量的原理得出被测物面的位移,现在常用的有线阵CCD(Charge Couple Device,电荷耦合器件)和一维PSD(Position Sensitive Detector,位置敏感探测器)。这两种器件各有优缺点,在选择使用时可以根据具体要求来进行选择。PSD有一个完整的光敏面,通过不同电极之间的电流输出,能连续给出入射光点中心在光敏面上的位置。PSD具有分辨率高、处理电路简单、响应速度快、性价比高的特点。此外,PSD的位置输出与光点强度及尺寸无关,只与其重心位置有关,这一点使得PSD在使用时无需复杂的光学聚焦系统。但是PSD的线性较差,需要进行校正。CCD阵列由于受到像素大小及间隔的限制,分辨率比较低,其运算电路是数字运算电路,较PSD模拟运算电路复杂,响应速度慢,但线性较好。
PSD是一种具有特殊结构的大光敏面的光电二极管,又称为PN结光电传感器,也是专门为光学信号位置测量而研制的。其光谱灵敏波长较宽,为300-1100nm,可用发光二极管或激光器作光源。PSD可分为一维PSD和二维PSD,一维PSD可以测定光点的一维坐标,而二维PSD可以检测出光点的平面二维位置坐标。当入射光点落在PSD感光面的不同位置时,将对应输出不同的电信号,通过对此输出电信号的分析处理,即可确定入射光点在感光面上的位置。
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