五台山佛寺的发展和佛教圣地的形成北魏孝文帝时期五台山已建有佛光寺、清凉寺、大孚灵鹫寺和碧山寺等一批寺庙，五台山佛教开始兴盛。
到北齐时，五台山已有寺庙200余所。北齐诸帝曾以八州之税供其所需。因此说，北朝时期是五台山佛教的第一个兴盛时期。屡经修建而传承至今的一些寺庙，如公主寺、灵峰寺、古竹林、寿宁寺、秘魔岩、金刚窟等，都建造于这个时期。隋唐时期是五台山佛教的黄金时代，是五台山佛教圣地形成的关键时期。史载，唐朝时候五台山有“大寺三百六，兰若无其数”、“万圣朝五台，祖师创宗派”、“天下学佛道者，多宗旨于五台”。五台山成了中国佛教的“首府”，成为与印度灵鹫山角立相望的“灵山圣境”。印度、尼泊尔、斯里兰卡、缅甸、越南、日本、韩国的僧人纷纷至五台山进行佛教文化交流，五台山又成了“世界佛教文化交流中心”。于是五台山的文殊信仰、华严思想、建筑造像、五会念佛等佛教文化艺术传到了南亚、东亚和东南亚等国家和地区，文殊信仰成了东方各民族佛教徒的共同信仰。
此后，随着宗教势力逐渐衰微，五台山寺庙建筑也相应地缩小。
入宋之后，藏传佛教希解派传人五台山，时有寺庙72座。元初世祖帝师、萨迦派五祖八思巴至五台山，写下颂扬文殊菩萨的五首赞歌。之后相继有胆巴、意希仁钦都至五台山。胆巴国师首倡在五台山为藏传佛教建立寺庙。元代诸帝也为其在五台山大规模地建立寺塔，救赐田产遂使藏传佛教在五台山兴起，五台山成了汉地惟一的“汉藏佛教圣地”。从此，五台山就成了“中国佛教的缩影”。
明清时代是五台山佛教发展的又一个兴盛时期。永乐十二年，黄教祖师宗喀巴的弟子释迦也失来到五台山为黄教创建了5座寺庙，使黄教在五台山传布兴起。从此五台山形成了青、黄两庙并存的格局。万历年间，释智光等一百二十三名高僧大德和宰官同僚于狮子窝创立十方净土禅院，这又使五台山成了子孙庙和十方庙共存的形式。此时五台山台内有寺68座、台外有寺36座，总计104座。
入清之后，清代诸帝扶植黄教，优礼黄教领袖至五台山传教弘法。康熙二十二年将台内10座青庙改为黄庙，连和尚也改为喇嘛。康熙三十三年台内有寺64所，台外有寺36所，总计100所。雍正年间五台山有黄庙26座，仅菩萨顶就有喇嘛561人，最多时竟达3000余人。
民国年间五台山有寺122处，其中黄庙25处，青庙97处。
五台山佛教的兴盛在很大程度上依赖于封建王朝的政治支持和经济扶植。而封建王朝是否大力支持，则取决于维护其统治的政治需要。所以，五台山佛教始终是在封建政治的巨大影响下发展和变迁，五台山寺庙建筑也随着它潮起潮落。
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