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作者简介

潘桂忠，1959年毕业于南京大学物理系半导体物理专业，高级工程师，贝岭微电子公司原技术工程部经理，从事LSI／VLSI设计、生产以及工艺技术研究长达50年。先后负责启动并运转三个厂家（航天韶771所、香港华科、上海贝岭）引进的LSI生产线，并实现了大批量生产；研制并开发了各种工艺技术；研制并生产了各种LSI／VLSI，其中上海贝岭LSI大批量生产成功后，邓小平等国家领导人曾来厂参观。“航天部专用MOSIC的设计和制造”获航天部三等功；“S1240电话交换机专用LSI制造、生产和国产化”（国家引进重点项目）分别获上海市优秀新产品成果一等奖、科学技术进步奖和国家科技进步三等奖。参与《超纯硅的制备和分析》与《世界IC发展趋势》的编译和《实用IC工艺手册》的编著，发表论文30余篇。

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内容介绍

《MOS集成电路结构与制造技术》利用集成电路剖面结构技术，系统地介绍MOS集成电路结构和典型集成电路制造技术，包括PMOS（E／E型、E／D型）、NMOS（E／E型、E／D型）、CMOS（P-Well、N-Well、TWin-Well）、LV／HV兼容CMOS、BiCMOS、LV／HV兼容BiCMOS以及LV／HV兼容BCD。书中描绘出组成各种集成电路的各种元器件工艺剖面结构，从而建立了元器件工艺剖面结构中高达120余种的基本单元库。根据基本单元库描绘出高达360余种电路芯片工艺剖面结构。然后根据电路芯片工艺剖面结构和制造技术，介绍了40余种典型集成电路制造技术，并描绘出工艺制程中各个工序的平面结构和工艺剖面结构。如此深入地展示电路芯片工艺剖面结构，有助于电路设计、芯片制造、良率提高、产品质量改进、电路失效分析等。 《MOS集成电路结构与制造技术》技术含量高，非常实用，可作为从事MOS集成电路设计、制造等方面工程技术人员的参考资料或者是公司员工培训的教材，也可以作为微电子专业高年级本科生的重要参考书，同时可供信息领域其他专业的学生和相关科研人员、工程技术人员参考。 集成电路各种剖面结构和工艺制程图示的复制引用，转载时，必须得到本版权所有者的同意，否则将依法追究责任。

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第1章 PMOS集成电路结构与制造技术 1.1 铝栅E／E型PMOS结构 1.2 硅栅E／E型PMOS结构 1.3 铝栅E／D型PMOS结构 1.4 硅栅E／D型PMOS结构 1.5 铝栅E／E型PMOS工艺制程 1.6 硅栅E／D型PMOS工艺制程 第2章 NMOS集成电路结构与制造技术 2.1 E／E型NMOS（A）结构 2.2 E／E型NMOS（B）结构 2.3 E／D型NMOS（A）结构 2.4 E／D型NMOS（B）结构 2.5 E／D型NMOS（C）结构 2.6 E／D型NMOS EPROM结构 2.7 E／D型NMOS EEPROM结构 2.8 E／D型NMOS DRAM结构 2.9 E／D型NMOS SRAM结构 2.10 E／E型NMOS（A）工艺制程 2.11 E／D型NMOS（A）工艺制程 2.12 E／D型NMOS（B）工艺制程 2.13 E／D型NMOS SRAM工艺制程 第3章 P-WdlCMOS集成电路结构与制造技术 3.1 铝栅P-Well CMOS（A）[薄场]结构 3.2 铝栅P-Well CMOS（B）[薄场]结构 3.3 铝栅P-Well CMOS（A）[厚场]结构 3.4 铝栅P-Well CMOS（B）[厚场]结构 3.5 铝栅P-well CMOS（C）[厚场]结构 3.6 铝栅P-Well CMOS（D）[厚场]结构 3.7 铝栅P-Well CMOS（E）[厚场]结构 3.8 硅栅P-Well CMOS（A）结构 3.9 硅栅P-Well CMOS（B）结构 3.10 硅栅P-Well CMOS（C）结构 3.11 硅栅P-Well CMOS（D）结构 3.12 硅栅P-Well CMOS（E）结构 3.13 硅栅P-Well CMOS（F）结构 3.14 铝栅P-Well CMOS（A）[薄场]工艺制程 3.15 铝栅P-Well CMOS（A）[厚场]工艺制程 3.16 铝栅P-Well CMOS（C）[厚场]工艺制程 3.17硅栅P-Well CMOS（B）工艺制程 3.18 硅栅P-Well CMOS（C）工艺制程 3.19 硅栅P-Well CMOS（E）工艺制程 第4章 N-Well CMOS集成电路结构与制造技术 4.1 N-Well CMOS（A）结构 4.2 N-Well CMOS（B）结构 4.3 N-Well CMOS（C）结构 4.4 N-Well CMOS（D）结构 4.5 N-Well CMOSEPROM结构 4.6 N-Well CMOSEEPROM（A）结构 4.7 N-Well CMOSEEPROM（B）结构 4.8 N-Well CMOSFlaSh（A）结构 4.9 N-Well CMOSFlaSh（B）结构 4.10 N-Well CMOSSRAM：结构 4.11 N-Well CMOSDRAM（A）／（B）结构 4.12 N-Well CMOSDRAM（C）／（D）结构 4.13 N-Well CMOS（C）工艺制程 4.14 N-Well CMOS（D）工艺制程 4.15 N-Well CMOSEPROM工艺制程 4.16 N-Well CMOSEEPROM（A）工艺制程 4.17 N-Well CMOSDRAM（B）工艺制程 4.18 N-Well CMOSSRAM工艺制程 第5章亚微米／深亚微米CMOS集成电路结构与制造技术 5.1 亚微米Twin-WellCMOS（SMA）结构 5.2 亚微米Twin-WellCMOS（SMB）结构 5.3 亚微米Twin-WellCMOS（SMC）结构 5.4 亚微米Twin-WellCMOS（SMD）结构 5.5 亚微米CMOS MaSk ROM（SMA）结构 5.6 亚微米CMOS MaSk ROM（SMB）结构 5.7 亚微米CMOS MaSk ROM（SMC）结构 5.8 亚微米CMOSEEPROM结构 5.9 深亚微米Twin-wellCMOS（DSMA）结构 5.10 深亚微米Twin-Well CMOS（DSMB）结构 5.11 深亚微米Twin-Well CMOS（DSMC）结构 5.12 深亚微米Twin-Well CMOS（DSMD）结构 5.13 深亚微米Twin-Well CMOS（DSME）结构 5.14 超深亚微米Twin-Well CMOS（VDSM）结构 5.15 亚微米CMOS（SMB）工艺制程 5.16 亚微米CMOS（SMC）工艺制程 5.17 亚微米CMOSMASKROM（SMA）工艺制程 5.18 深亚微米CMOS（DSMB）工艺制程 5.19 深亚微米CMOS（DSMC）工艺制程 第6章低压／高压兼容CMOS集成电路结构与制造技术 6.1 低压／高压兼容P-Well CMOS（A）结构 6.2 低压／高压兼容P-Well CMOS（B）结构 6.3 低压／高压兼容P-Well CMOS（C）结构 6.4 低压／高压兼容N-Well CMOS（A）结构 6.5 低压／高压兼容N-Well CMOS（B）结构 6.6 低压／高压兼容N-Well CMOS（C）结构： 6.7 低压／高压兼容Twin-Well CMOS（A）结构 6.8 低压／高压兼容Twin-Well CMOS（B）结构 6.9 低压／高压兼容Twin-Well CMOS（C）结构 6.10 LV／HV兼容P-Well CMOS（B）工艺制程 6.11 LV／HV兼容P-Well CMOS（B*）工艺制程 6.12 LV／HV兼容N-Well CMOS（B）工艺制程 6.13 LV／HV兼容N-Well CMOS（C）工艺制程 6.14 LV／HV兼容Twin-Well CMOS（B）工艺制程 第7章 BiCMOS集成电路结构与制造技术 7.1 P-Well BiCMOS[c]-（A）结构 7.2 P-Well BiCMOS[C]-（B）结构 7.3 P-Well BiCMOS[B]-（A）结构 7.4 P-Well BiCMOS[B]-（B）结构 7.5 P-Well BiCMOS[B]-（C）结构 7.6 P-Well BiCMOS[B]-（D）结构 7.7 N-Well BiCMOS[C]-（A）结构 7.8 N-Well BiCMOS[C]-（B）结构 7.9 N-Well BiCMOS[B]-（A）结构 7.10 N-Well BiCMOS[B]-（B）结构 7.11 Twin-Well BiCMOS[C]结构 7.12 Twin-Well BiCMOS[B]-（A）结构 7.13 Twin-Well BiCMOS[B]-（B）结构 7.14 Twin-Well BiCMOS[B]-（C）结构 7.15 Twin-Well BiCMOS[B]-（D）结构 7.16 Twin-Well BiCMOS[B]-（E）结构 7.17 P-Well BiCMOS[C]-（A）工艺制程 7.18 P-Well BiCMOS[B]-（D）工艺制程 7.19 N-Well BiCMOS[C]-（A）工艺制程 7.20 N-Well BiCMOS[B]-（A）工艺制程 7.21 Twin-Well BiCMOS[B]-（A）工艺制程 7.22 Twin-Well BiCMOS[B]-（D）工艺制程 第8章 LV／HV兼容BiCMOS集成电路结构与制造技术 8.1 低压／高压兼容P-Well BiCMOS[C]-（A）结构 8.2 低压／高压兼容P-Well BiCMOS[C]-（B）结构 8.3 低压／高压兼容P-Well BiCMOS[B]-（A）结构 8.4 低压／高压兼容P-Well BiCMOS[B]-（B）结构 8.5 低压／高压兼容N-Well BiCMOS[C]-（A）结构 8.6 低压／高压兼容N-Well BiCMOS[C]-（B）结构 8.7 低压／高压兼容N-Well BiCMOS[B]-（A）结构 8.8 低压／高压兼容N-Well BiCMOS[B]-（B）结构 8.9 低压／高压兼容Twin-Well BiCMOS[C]-（A）结构 8.10 低压／高压兼容Twin-Well BiCMOS[C]-（B）结构 8.11 低压／高压兼容Twin-Well BiCMOS[B]-（A）结构 8.12 低压／高压兼容Twin-Well BiCMOS[B]-（B）结构 8.13 低压／高压兼容Twin-Well BiCMOS[B]-（C）结构 8.14 LV／HVP-Well BiCMOS[C]-（A）工艺制程 8.15 LV／HVP-Well BiCMOS[B]-（A）工艺制程 8.16 LV／HVN-Well BiCMOS[C]-（B）工艺制程 8.17 LV／HVN-Well BiCMOS[B]-（B）工艺制程 8.18 LV／HVTwin-Well BiCMOS[Sl一（A）工艺制程 8.19 LV／HVTwin-Well BiCMOS[B]-（B）工艺制程 第9章 LV／HV兼容BCD集成电路结构与制造技术 9.1 低压／高压兼容P-Well BCD[C]-（A）结构 9.2 低压／高压兼容P-Well BCD[c]-（B）结构 9.3 低压／高压兼容P-Well BCD[C]-（C）结构 9.4 低压／高压兼容P-Well BCD[C]-（D）结构 9.5 低压／高压兼容N-Well BCD[C]-（A）结构 9.6 低压／高压兼容N-Well BCD[C]-（B）结构 9.7 低压／高压兼容N-Well BCD[c]-（c）结构 9.8 低压／高压兼容N-Well BCD[c]-（D）结构 9.9 低压／高压兼容N-Well BCD[C]-（E）结构 9.10 低压／高压兼容N-Well BCD[C]-（F）结构 9.11 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（A）结构 9.12 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（B）结构 9.13 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（C）结构 9.14 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（D）结构 9.15 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（E）结构 9.16 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（F）结构 9.17 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（A1）结构 9.18 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（A2）结构 9.19 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（A3）结构 9.20 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（A4）结构 9.21 低压／高压兼容P-Well BCD[B]-（B*）结构 9.22 低压／高压兼容Twin-Well BCD[C]结构 9.23 低压／高压兼容Twin-Well BCD[B]结构 9.24 LV／HVP-Well BCD[C]-（C）工艺制程 9.25 LV／HV-N-Well BCD[C]-（D）工艺制程 9.26 LV／HVP-Well BCD[B]-（F）工艺制程 9.27 LV／HVP-Well BCD[B]-（A3）工艺制程 9.28 LV／HVP-Well BCD[B]-（B*）工艺制程 9.29 LV／HVTwin-Well BCD[B]工艺制程 附录Ⅰ 参考资料 附录Ⅱ 术语缩写对照 附录Ⅲ 简要提示

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