译者序<br>前言<br>符号表<br>教学进度安排<br>预备知识<br>第1章 致动器和微机械电子学的当前趋势<br>1.1 对新型致动器的需求<br>1.2 微定位的传统方法<br>1.3 固态致动器概述<br>1.4 重要设计概念和本书结构<br>第2章 场致张力的理论描述<br>2.1 铁电性<br>2.2 电场感应应变的微观描述<br>2.3 压电性的张量／矩阵描述<br>2.4 铁电和反铁电现象的理论描述<br>2.5 磁致伸缩现象学<br>2.6 铁电畴的再取向<br>2.7 铁电体中的晶粒大小和电场感应应变<br>第3章 致动器材料<br>3.1 实用致动器材料<br>3.2 压电换能器的品质因数<br>3.3 电致伸缩应变与温度的关系<br>3.4 响应速度<br>3.5 致动器的机械特性<br>第4章 陶瓷致动器的结构及制造方法<br>4.1 陶瓷和单晶体的制造<br>4.2 装置设计<br>4.3 电极材料<br>4.4 市场上现有的压电致动器和电致伸缩致动器<br>第5章 压电致动器的驱动／控制技术<br>5.1 压电致动器的分类<br>5.2 反馈控制<br>5.3 脉冲驱动<br>5.4 谐振驱动<br>5.5 微机电系统的传感器和特殊元器件<br>第6章 损耗机理与发热<br>6.1 压电体的迟滞和损耗<br>6.2 压电体中的发热<br>6.3 硬性和软性压电材料<br>第7章 压电结构有限元法简介<br>7.1 背景知识<br>7.2 定义问题的方程<br>7.3 有限元法的应用<br>第8章 伺服位移传感器的应用<br>8.1 变形镜<br>8.2 显微镜载物台<br>8.3 高精度线性位移装置<br>8.4 伺服系统<br>8.5 VCR（录像机）磁头跟踪致动器<br>8.6 振动抑制和噪声消除系统<br>第9章 脉冲驱动电机应用<br>9.1 成像系统的应用<br>9.2 尺蠖装置<br>9.3 点阵打印机机头<br>9.4 喷墨打印机<br>9.5 压电继电器<br>9.6 自适应悬挂系统<br>第10章 超声波电机的应用<br>10.1 超声波电机的概述及分类<br>10.2 驻波电机<br>10.3 混合模态电机<br>10.4 行波电机<br>10.5 模态旋转电机<br>10.6 不同超声波电机的性能比较<br>10.7 微型步行机械<br>10.8 超声波电机速度和推力的计算<br>10.9 设计超声波电机的要点<br>10.10 超声波电机的其他应用<br>10.11 磁电机<br>10.12 超声波电机的可靠性<br>第11章 微机械电子系统中陶瓷致动器的展望<br>11.1 从专利统计看发展趋势<br>11.2 压电致动器／超声波电机市场<br>11.3 致动器设计的未来趋势<br>索引
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