第1章 大气及理想气体定律
1.1 大气
1.1.1 标准状态、标准大气压
1.1.2 大气的性质
1.2 理想气体的物理特性
1.2.1 理想气体压力、质量和密度
1.2.2 气体分子热运动速度
1.2.3 气体分子平均自由程
1.2.4 气体分子之间的碰撞
1.2.5 气体分子单位时间单位面积上的碰撞数（入射频率）
1.2.6 气体常数R、k的单位换算
1.3 气体的性能参数
1.3.1 气体的热导率
1.3.2 气体的热适应系数
1.3.3 气体的黏滞性
1.3.4 气体的扩散
1.4 真空中气固界面现象
1.4.1 气体的吸附与解吸
1.4.2 气体在固体中的扩散、渗透
1.5 低压下气体的电现象
1.5.1 气体的电离
1.5.2 荷能粒子的溅射
1.5.3 热电子发射
1.5.4 气体放电的伏安特性
1.5.5 巴耶定律
1.5.6 辉光放电
第2章 真空管道、挡板流导
2.1 气体流动状态的判别
2.2 气体流量、管道流导
2.2.1 气体流量、管道流导及流导的串并联
2.2.2 不同气体之间管道流导换算关系
2.2.3 黏滞流、分子流态，各种气体的流导和空气流导的关系
2.3 孔和管道流导
2.3.1 黏滞流、分子流圆孔的流导
2.3.2 黏滞流、分子流圆截面管道流导
2.3.3 传输概率--克劳辛系数
2.3.4 弯管的流导
2.3.5 其他各种截面形状长管道的流导
2.4 挡板流导
2.4.1 分子流挡板的传输概率
2.4.2 各种挡板的传输概率和比流导
第3章 真空元件性能参数
3.1 真空泵
3.1.1 各种真空泵工作压力范围
3.1.2 真空泵型号编制方法
3.1.3 往复式真空泵型号及其基本参数
3.1.4 爪型干式真空泵基本参数
3.1.5 水环式真空泵基本参数
3.1.6 油封旋转机械真空泵型式与基本参数
3.1.7 水蒸气喷射泵型式与基本参数
3.1.8 罗茨真空泵型号与基本参数
3.1.9 油扩散泵、油扩散喷射泵基本参数
3.1.1 0立式涡轮分子泵基本参数
3.1.1 1溅射离子泵型号与基本参数
3.2 真空阀门
3.2.1 真空阀门编制、型式与基本参数
3.2.2 高真空插板阀型式与基本参数
3.2.3 高真空挡板阀型式与基本参数
3.2.4 高真空蝶阀型式与基本参数
3.2.5 高真空电磁阀型式与基本参数
3.2.6 低真空电磁带充气阀型式与基本参数
3.2.7 低真空电磁压差充气阀型式与基本参数
3.3 真空法兰
3.3.1 橡胶密封真空法兰
3.3.2 金属密封法兰
3.3.3 国产超高真空CF法兰型式及尺寸
3.4 真空管路、真空规管接头
3.4.1 真空管路配件装配尺寸
3.4.2 真空管道密封接头
3.4.3 真空规管接头
第4章 真空测量、真空检漏
4.1 真空测量
4.1.1 真空计性能一览表
4.1.2 静态变形真空计
4.1.3 热传导真空计
4.1.4 电离真空计
4.1.5 其他种类真空计
4.2 分压力测量（四极质谱计）
4.2.1 四极质谱计性能参数
4.2.2 质谱计常用数据
4.3 真空检漏
4.3.1 各种检漏方法一览表
4.3.2 常用检漏方法及仪器参数
第5章 真空容器设计
5.1 真空容器壳体设计
5.1.1 圆筒、锥表、球形壳体容器壁厚设计
5.1.2 钢制压力容器用封头标准
5.1.3 封头内表面积、容积及质量计算公式
5.1.4 封头内表面积、容积、质量数据
5.2 真空抽气系统设计
5.2.1 真空抽气系统设计的主要参数
5.2.2 选泵及配泵
5.3 真空抽气机组
5.3.1 扩散泵抽气机组
5.3.2 罗茨真空泵机组
第6章 真空技术常用材料
6.1 真空常用材料出气速率
6.1.1 金属材料的出气速率
6.1.2 有机材料的出气速率
6.1.3 无机材料的出气速率
6.2 材料的气体渗透、吸附性能
6.2.1 材料的渗透系数
6.2.2 物理吸附剂材料
6.2.3 化学吸气剂材料
6.3 材料的蒸气压
6.3.1 单质物质的蒸气压
6.3.2 氟利昂的饱和蒸气压
6.3.3 气体的饱和蒸气压
6.3.4 无机化合物的蒸气压
6.3.5 有机溶剂的蒸气压
6.3.6 高温材料的蒸气压
6.3.7 塑料、橡胶的蒸气压
6.3.8 冰、水的蒸气压
6.4 真空用橡胶材料
6.4.1 橡胶的物理力学性能
6.4.2 橡胶永久变形与硬度、温度的关系
6.4.3 橡胶的渗透系数
6.4.4 橡胶的真空质损率
6.4.5 氟橡胶性能
6.4.6 真空橡胶管、胶棒尺寸规格
6.5 真空油、脂及封蜡
6.5.1 机械真空泵油质量标准
6.5.2 高真空泵油的性能
6.5.3 真空脂的性能
6.5.4 真空油、脂的饱和蒸气压
6.6 真空工程常用材料性能
6.6.1 常用材料的物理性能
6.6.2 黑色金属材料性能
6.6.3 有色金属材料性能
6.6.4 玻璃、石英和陶瓷材料性能
6.6.5 石墨、云母材料性能
6.6.6 塑料材料性能
6.6.7 高温真空装置材料性能
6.7 低温工程材料
6.7.1 低温工质的热物理性质
6.7.2 液态空气的物理性质
6.7.3 液态氮的物理性质
6.7.4 液态氧的物理性质
6.7.5 液态氢的低温性能
6.7.6 液态氦的物理性能
6.7.7 液化气体在低压下的饱和温度
6.7.8 低温用绝热材料性能
6.7.9 材料的低温物理性能
6.7.1 0低温容器预冷参数
6.7.1 1低温容器
第7章 常用数据
7.1 基本物理常数
7.2 常用计量单位换算
7.2.1 SI基本单位及SI词头
7.2.2 常用长度、面积、体积、质量单位的换算
7.2.3 力、能单位换算
7.2.4 热力学单位换算
7.2.5 黏度单位换算
7.2.6 气体抽速、流量单位换算
7.2.7 气体常数、玻耳兹曼常数换算
7.2.8 电磁单位换算
7.3 物质的吸附热、活化能
7.4 气体的物理性质
7.5 低温气体性能
7.6 物质的蒸气压
7.7 液化气体的性质
7.8 常用电阻材料性能
7.9 无机物、有机物特性
7.1 0高熔点陶瓷性能
7.1 1高熔点材料的性能
7.1 2熔点以上金属的性能
7.1 3电真空材料性能
7.1 3.1 钨钽阴极材料的性质
7.1 3.2 电子器件常用材料退火温度
7.1 3.3 电子器件常用材料烧氢温度
7.1 3.4 几种金属材料电子发射参数
7.1 3.5 热阴极饱和电流密度
7.1 3.6 金属材料的逸出功
7.1 3.7 真空中加热电流、电压与钨丝直径关系
7.1 3.8 热阴极材料的热阴极电子发射密度
7.1 4可伐合金的物理性能
7.1 5贵金属电阻材料的性能
7.1 6常用材料的介电常数
7.1 7常用材料摩擦系数
7.1 7.1 固体润滑材料摩擦系数和磨损率
7.1 7.2 材料的滑动摩擦系数
7.1 7.3 材料的滚动摩擦系数
7.1 8固体润滑材料特性
7.1 9金属基复合材料性质
7.2 0黏结固体润滑材料特性
7.2 1表面分析仪
7.2 2真空镀膜
7.2 3液态合金配制
7.2 4真空零部件的电化学抛光
7.2 5常用清洗溶剂的性质
7.2 6真空技术中的有害物质
7.2 7各种气体（蒸气）在空气中最大允许浓度、爆炸范围和自燃点
7.2 8元素周期表
第8章 真空装置热计算基础
8.1 固体的热传导
8.1.1 各种类型热传导简图及热量计算公式
8.1.2 金属材料热导率
8.1.3 非金属材料热导率
8.1.4 保温材料的热导率
8.2 气体分子热传导
8.3 辐射换热
8.3.1 一个表面被另一个表面全包围辐射换热
8.3.2 两平行表面之间辐射换热
8.3.3 两个表面之间置入n块辐射屏
8.3.4 各种材料的辐射率
8.4 辐射换热角系数及其基本特性
8.4.1 辐射换热角系数概念
8.4.2 辐射换热角系数基本特性
8.4.3 微元面对有限面的角系数
8.4.4 有限面对有限面的角系数
8.5 对流换热
8.5.1 计算传热系数所用无量纲数
8.5.2 传热系数计算基本公式
8.5.3 管内受迫流动换热关联式
8.5.4 外掠单管换热关联式
8.5.5 外掠管束
8.5.6 热计算用的气体及液体物理性质
8.5.7 流体沿平板及圆板自然对流与强迫对流时传热系数计算
8.5.8 空气中自然对流传热系数
8.6 真空绝热
8.6.1 高真空绝热
8.6.2 真空多孔绝热
8.6.3 高真空多层绝热
参考文献
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