前言
第1章 光学及工艺知识
1.什么是真空集热管?
2.真空集热管的发展历程是怎样的?
3.真空集热管的T作原理及用途是什么?
4.太阳辐射能量有多大?
5.地球表面的太阳辐射是怎样的?
6.什么是太阳常数?
7.绝对大气质量是什么?
8.AMO与AM1.5辐照度的区别是什么?
9.太阳光能量如何分布?
10.什么是黑体?
11.什么是普朗克定律,它的物理意义是什么?
12.怎样理解维恩位移定律?
13.斯蒂芬一波尔兹曼定律有什么意义?
14.发射率与实际物体辐射是什么关系?
15.选择性吸收涂层所依据的热辐射理论基础是什么?
16.选择性吸收涂层工作原理是什么?
17.在制备选择性吸收涂层时希望得到的谱线是什么样的?
18.选择性吸收涂层由哪几部分组成
19.吸收涂层的颜色是如何来的?
20.镀膜方法有哪几种?
21.选择性吸收涂层制各都有哪些方式?
22.利用真空系统的物理气相沉积法具体有哪些分类?
23.电阻蒸发源蒸镀法的工作原理和优缺点是什么?
24.电子柬蒸发源燕镀法的工作原理、分类及有什么优缺点?
25.高频感应蒸发源蒸镀法的工作原理是什么?
26.高频感应蒸发源蒸镀法有什么优缺点?
27.激光束蒸发源蒸镀法的基本情况怎样?
28.溅射镀膜有哪些代表性方法?
29.离子镀的工作原理和优点是什么?
30.选择性吸收涂层中红外发射层的作用和常用材料是什么?
31.不同红外反射层对涂层的性能有什么影响?
32.选择性吸收涂层中吸收层的作用和要求是什么?
33.选择性吸收涂层中减反射层的作用和要求是什么?
34.电介质——金属复合薄膜材料包括哪些?
35.选择性吸收涂层确定设备工作参数后,影响膜层性能的主要可变因素有哪些?
36.吸收涂层中独立层数越多越好吗?
37.什么是反应溅射的滞回现象,有什么作用?
38.在利用调节反应气体流量控制放电电压稳定的溅射工作模式时,为什么流量计很关键?
39.直流低压辉光放电区域怎么区分?
40.怎么理解巴邢曲线?
41.如何参照巴邢曲线确定工作参数?
42.影响热阴极电离真空计测量下限的因素是什么?如何改进?
43.真空检混的意义?
44.从原理上讲.真空检漏可分为哪两大类?
45.什么是等离子体鞘层?
46.浸段在等离子体中基片的悬浮电位如何计算?
47.什么是溅射产额?
48.溅射产额与哪些凶素有关?
49.为什么选用氩气作为放电气体?
50.为什么溅射产额与离子的入射方向有关?
51.溅射粒子角分布(方向分布)如何?
52.什么是溅射速率?
53.沉积速率与压力关系如何?
54.合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别?
55.磁控溅射中。磁场起什么作用?
56.什么是二极溅射?其工艺参数如何?
57.什么是三极溅射?其工艺参数如何?
58.为什么射频溅射可以溅射非导电靶材?
59.磁控靶表面的磁场强度是多少?
60.什么是靶中毒?
61.为什么反应溅射沉积速率低?
62.在靶中毒的情况下。沉积速率和反应气体流量为什么会出现迟滞现象?
63.什么是阳极消失?
64.磁控溅射沉积中为什么会出现“托弧”?
65.如何根除磁控溅射中的“拉弧”现象?
……
第2章 真空及设备知识
第3章 产品知识
第4章 生产知识
第5章 设备知识
第6章 检验知识
附录
参考文献
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