能谱或者波谱的分辨率通常是指谱图上可区分的两个峰之间的最小能量值,用电子伏特(eV)表示。能谱或者波谱的分辨率是影响材料定性、定量分析准确度的重要因素。 3)信号噪声比 信号噪声比是指扫描电镜图像信号强度和噪声强度的比值。一般来说,信号噪声比越高,则图像越清晰。信号强度是扫描电镜成像的关键,主要取决于入射电子能量和束流等;噪声则干扰成像,使荧光屏上出现像下雪似的、时隐时现的细小亮斑点,图像变得模糊,噪声的大小主要取决于所用的检测器和样品的情况等。
4)杂散磁场
杂散磁场是指引起扫描电子束形状发生畸变的存在于电镜内或者周围环境的磁场。杂散磁场的存在会改变样品发射的二次电子运动轨迹,降低图像质量,从而使分辨率下降。因此,在扫描电镜使用过程中应尽量避免杂散磁场存在。
5)景深
扫描电镜的景深是指电子束在试样上扫描时可获得清晰图像的深度范围,通常用m表示。景深的产生是因为扫描电镜电子束同试样作用时,有一定发散度,因此除了焦平面外,电子束将展宽。同透射电镜和光学显微镜相比,扫描电镜电子束发散度很小,因此往往景深较大,成像富有立体感。表1.1给出了在不同放大倍数下,扫描电镜和光学显微镜相应的景深值。由表可见,扫描电镜的景深比光学显微镜大得多,所以它特别适用于粗糙表面的观察和分析。
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