玻璃表面处理不好,存在残留金属离子或其他杂质沾污时,会直接影响产品成品率和产品电光性能指标。因此LCD产品的清洗,与半导体生产一样,是非常关键的环节,而清洗中大量使用的清洗材料是高纯水。
1.高纯水的制备
普通的水无论地表水(如湖水、河水)还是地下水都含有许多悬浮物、微生物和杂质离子(如Na+、k+、Mg+2、ca+2等阳离子以及cr、sO4(-2)、c03(-2)、siO2(-3)、O3(+2)等阴离子),用这样的水冲洗玻璃非但不能清洗干净玻璃,而且还容易将玻璃表面污染,因此冲洗玻璃必须使用不含有颗粒杂质及各种离子的高纯水。高纯水的制备主要采用电渗析和离子交换法。
(1)高纯水制备流程
高纯水制备流程为:普通水一粗过滤一活性炭过滤一电渗析一离子交换一紫外线杀菌一微孔滤膜一高纯水。
①粗过滤使用由细沙石组成的过滤池,水通过后,可以把水中的较大颗粒的泥沙和污染物过滤掉;
②活性炭过滤器用以除去水中残余的有机物和部分微生物;
③电渗析就是将水通过带有正、负电极和阴、阳离子交换膜的电渗析器,使水中含有的正、负离子被置换出来,从而使水的离子浓度大大降低,提高水的纯度;
④离子交换将水通过离子交换树脂,使水中的阴、阳离子分别被树脂吸附,去除水中的无机离子:
⑤紫外线杀菌是通过紫外线照射使水中的细菌不能存活繁殖;
⑥微孔过滤是将水通过微孔过滤膜,把直径大于0.5岬1的各种颗粒过滤掉。
(2)离子交换树脂简介
离子交换树脂是高分子聚合物,是一种不溶的、呈颗粒状的固体。离子交换树脂颜色有白色、黄色、褐色等。如果将其放入含有各种离子的水溶液中,由于离子交换树脂能吸附溶液中的离子,并把自己的离子析出释放到溶液中,即能进行离子交换反应,因而被称为离子交换树脂。
展开