第1章 引言和总论
1.1 薄膜组态分类
1.2 薄膜沉积方法
1.2.1 物理气相沉积
1.2.2 化学气相沉积
1.2.3 热喷涂沉积
1.2.4 实例：热障涂层
1.3 气相沉积薄膜的生长方式
1.3.1 从气相到吸附原子
1.3.2 从吸附原子到薄膜生长
1.3.3 自由表面或界面的能量密度
1.3.4 表面应力
1.3.5 基于表面能的生长方式
1.4 薄膜微观结构
1.4.1 外延膜
1.4.2 实例：垂直孔洞表面发射激光
1.4.3 多晶体膜
1.4.4 实例：磁存储介质薄膜
1.5 微电子结构的制备
1.5.1 光刻
1.5.2 铜互联体的大马士革加工
1.6 MEMS结构的制备
1.6.1 整体微加工
1.6.2 表面微加工
1.6.3 成型加工
1.6.4 NEMS结构
1.6.5 实例：振动梁细菌探测器
1.7 薄膜应力源
1.7.1 薄膜应力的分类
1.7.2 外延薄膜中的应力
1.8 多晶体薄膜中的生长应力
1.8.1 岛合并前的压缩应力
1.8.2 实例：表面覆盖的影响
1.8.3 岛接触引起的拉应力
1.8.4 连续生长过程中的压缩应力
1.8.5 最终应力与晶粒结构间的关系
1.8.6 应力演变的其他机制
1.9 薄膜应力的后果
1.10 习题
第2章 薄膜应力和基底曲率
2.1 Stoney方程
2.1.1 实例：外延应变引起的曲率
2.1.2 实例：热应变引起的曲率
2.2 薄膜厚度对双层薄膜曲率的影响
2.2.1 任意薄膜厚度的基底曲率
2.2.2 实例：双层薄膜最大热应力
2.2.3 温度调节双金属片的历史记录
2.3 曲率测量方法
2.3.1 扫描激光法
2.3.2 多束光学应力敏感技术
2.3.3 光栅反射法
2.3.4 相干梯度传感器方法
2.4 层状和成分梯度薄膜
2.4.1 非均匀错配应变和弹性性能
2.4.2 错配应变中的恒定梯度
2.4.3 实例：成分梯度薄膜的应力
2.4.4 周期多层薄膜
2.4.5 实例：多层薄膜整体热弹性响应
2.4.6 微小总厚度的多层薄膜
2.4.7 实例：薄多层膜中的应力
2.5 几何非线性变形范围
2.5.1 线性范围的极限
2.5.2 非线性范围内的轴对称变形
2.6 平衡形状的分叉
2.6.1 均匀曲率的分叉分析
2.6.2 均匀曲率状态的可视化
2.6.3 一般曲率变化的分叉
2.6.4 基底曲率变形图
2.6.5 实例：Cu／Si系统的曲率图
2.7 习题
第3章 各向异性和图形薄膜中的应力
3.1 弹性各向异性
……
第4章 脱层和断裂
第5章 薄膜的翘曲、鼓包和剥离
第6章 外延系统中的位错形成
第7章 位错交互作用和应变弛豫
第8章 表面的平衡和稳定性
第9章 应力在传质中的作用
展开
