第一章 绪论<br>1.1 微机械陀螺的技术分类<br>1.2 微机械陀螺的发展现状<br>1.2.1 压电石英陀螺<br>1.2.2 压电陶瓷陀螺<br>1.2.3 硅微机械陀螺<br>1.3 电容式微机械陀螺的信号处理方法概述<br>1.3.1 驱动电路<br>1.3.2 信号解调处理方法<br>1.4 电容式微机械陀螺中的技术难点<br>1.5 本书主要的研究内容<br>1.6 本书的组织和安排<br><br>第二章 电容式微机械陀螺的结构设计与加工<br>2.1 电容式微机械陀螺的结构设计<br>2.2 微机械陀螺振动模态研究<br>2.2.1 驱动模态频率的计算<br>2.2.2 检测模态频率的计算<br>2.3 电容式硅微机械陀螺的结构仿真<br>2.4 梳齿电容的计算<br>2.4.1 驱动模态的检测电容<br>2.4.2 检测模态的检测电容<br>2.5 检测模态的电调谐频率的计算<br>2.6 关键工艺的设计<br>2.6.1 微机械陀螺结构加工流程<br>2.6.2 微机械陀螺真空封装罩子的加工工艺<br>2.6.3 真空中硅玻璃键合工艺<br>本章小结<br><br>第三章 电容式微机械陀螺信号处理方法的研究及仿真<br>3.1 电容式微机械陀螺闭环驱动的研究<br>3.1.1 上电闭环自振荡的基本原理<br>3.1.2 无自动增益控制的闭环驱动<br>3.1.3 自动增益控制的闭环驱动<br>3.2 电容式微机械陀螺关键信号的推导<br>3.2.1 静电驱动力<br>3.2.2 运动质量块的振动速度<br>3.2.3 哥氏力引起的位移<br>3.3 电容式微机械陀螺角速率信号解调算法的推导<br>3.3.1 信号解调的基本原理<br>3.3.2 干扰信号对信号解调的影响<br>3.3.3 高信噪比解调算法的研究<br>3.4 电容式微机械陀螺的系统仿真<br>3.4.1 闭环驱动过程的仿真<br>3.4.2 角速率解调过程的仿真<br>3.4.3 陀螺在冲击环境中的模拟与仿真<br>本章小结<br><br>第四章 电容式微机械陀螺接口电路的设计与仿真<br>4.1 电容式微机械陀螺前置放大电路的设计<br>4.1.1 传统的C／V转换电路的设计与分析<br>4.1.2 改进的C／V转换电路的设计与分析<br>4.1.3 前置C／V转换电路的抗驱动信号干扰的设计<br>4.2 电容式微机械陀螺闭环驱动电路的设计<br>4.2.1 高通滤波电路的设计<br>4.2.2 相移电路的设计<br>4.2.3 限幅电路的设计<br>4.2.4 AGC自动增益电路的设计<br>4.3 电容式微机械陀螺角速率解调电路的设计<br>4.3.1 相位敏感解调电路的设计<br>4.3.2 二阶低通滤波电路的设计<br>本章小结<br><br>第五章 电容式微机械陀螺的性能测试<br>5.1 电容式微机械陀螺品质因子的测试<br>5.1.1 品质因子测试的基本原理<br>5.1.2 静电激励一电容检测法<br>5.1.3 机械激励一电容检测法<br>5.1.4 静电激励一位移特性间接检测法<br>5.2 陀螺分辨率的测试<br>5.3 陀螺带宽的测试<br>5.4 AGC静态工作点的选取<br>5.5 陀螺工作状态的测试<br>5.5.1 闭环驱动控制电路中工作状态的测试<br>5.5.2 信号解调电路中工作状态的测试<br>5.6 灵敏度和线性度的测试<br>5.7 带宽和灵敏度的优化<br>本章小结<br>附录一 电容式微机械陀螺的电原理图<br>附录二 电容式微机械陀螺的SIMULINK仿真的部分代码<br>参考文献
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