本教材试图从系统和应用的角度，从信息系统技术链的地位出发，简明介绍微系统封装相关技术，为微电子专业、光电子专业等微系统技术相关专业学生和研究人员提供必要的基础知识。本教材将以微电子封装和集成技术为重点，融合MEMS封装技术、射频系统封装技术、光电子封装技术，从四个层面进行介绍：  ① 微系统封装设计基础技术，包括：电设计、热设计、机械设计、微流体设计和复合场设计等；  ② 微系统封装基础制造技术，包括：厚薄膜精细加工技术、基板技术和互联技术等  ③ 元器件级封装集成基础，包括：包封技术、芯片级封装技术、器件级封装技术等  ④ 板级组装封装技术，包括基板技术、模件构建技术等  ⑤ 系统封装集成技术基础，包括： SoC、SiP技术，MEMS封装技术、RF 封装技术、光电子封装技术等先进微系统封装技术等

《半导体科学与技术丛书》出版说明
序
前言
第1章 绪论
1.1 什么是微系统
1.2 微系统相关技术基础
1.3 什么是微系统封装
1.4 什么是微电子封装
1.5 微电子封装发展进程
1.6 微系统封装技术的地位和作用
1.7 微系统封装中的技术挑战
思考题
参考文献
第2章 微系统封装集成设计技术
2.1 电气设计
2.2 热管理设计
2.3 机械设计
2.4 流体设计
2.5 复合场设计
思考题
参考文献
第3章 膜材料与工艺
3.1 薄膜材料与工艺
3.2 厚膜材料与工艺
思考题
参考文献
第4章 基板技术
4.1 概述
4.2 有机基板
4.3 陶瓷基板
4.4 典型陶瓷基板介绍
4.5 低温共烧陶瓷基板
思考题
参考文献
第5章 互连技术
5.1 概述
5.2 钎焊技术
5.3 引线键合技术
5.4 载带自动焊技术
5.5 倒装键合技术
5.6 系统级封装中的芯片互连
思考题
参考文献
第6章 包封和密封技术
6.1 概述
6.2 包封技术
6.3 密封
思考题
参考文献
第7章 器件级封装
7.1 概述
7.2 金属封装
7.3 塑料封装
7.4 陶瓷封装
7.5 典型器件级封装举例
7.6 发展展望
思考题
参考文献
第8章 MEMS封装技术
8.1 概述
8.2 MEMS芯片级装配技术
8.3 MEMS芯片级封装技术
8.4 MEMS器件级封装技术
8.5 MEMS封装示例
思考题
参考文献
第9章 模组组装和光电子封装
9.1 概述
9.2 表面贴装技术
9.3 光电显示模块封装
9.4 光电子封装
思考题
参考文献
第10章 系统级封装技术
10.1 概述
10.2 片上系统技术
10.3 封装系统技术
10.4 RF系统封装技术
思考题
参考文献
第11章 可靠性与测试技术
11.1 概述
11.2 失效机理与对策
11.3 可靠性的基本概念
11.4 可靠性试验和分析
11.5 电气测试基础
思考题
参考文献
第12章 技术发展展望及必须考虑的几个问题
12.1 封装材料的发展
12.2 封装技术的发展及其应用
12.3 封装技术的发展与环境保护
12.4 结束语
思考题
参考文献
英文缩写说明