电子光学是研究自由电子及其他带电粒子在电磁场中的聚焦、成像、偏转与色散的学科。在初始阶段,电子光学主要是研究旋转对称的电子光学器件。因为旋转对称的电子光学元器件可以较容易地加工制造,而且在数学上处理也比较容易。但是电子光学并不能描述电子及其他带电粒子在电磁场中所有的运动及所产生的现象,而利用几何光学的规律和法则可以设计不同科技领域的一些仪器设备和器件。例如,1926年布许(Busch)对旋转对称磁场中电子运动的研究奠定了与光线光学对应的电子光学的基础。在此基础上1932年Ruska制造了第一台电子显微镜,这种电子显微镜的分辨率大大超过光学显微镜。1935年利用扇形磁场分析器理论设计制造了双聚焦质谱仪和各种质谱分析仪,同时利用电子光学在电场或磁场中的聚焦和偏转理论,设计和制造了各种阴极射线管,包括示波管、单色显像管、图像转换器等。1940年后,由于雷达和线性加速器的发展需要,大功率微波管的开发被提到日程上来。它需要一种新型的能提供几安培到几十安培电流的电子枪,这需要强流电子光学理论来解决大电流电子柬的传输问题。此外,由于原子弹制造上的需要,如何产生和控制强流离子束以激发原子弹需要的裂变也被提到日程上来。在这个时期强流电子光学理论及其计算方法得到了特别迅速的发展。在1950~1975年间出版了大量的强流电子光学文献和书籍,讨论了在微波管、带电粒子加速器、电子束焊接设备中的电子产生及聚焦的理论和实际问题,形成了高能强流电子光学、离子光学或空间电荷光学。20世纪70年代以后,当微电路进入超大规模集成电路阶段,电路线条宽度达到微米及亚微米级时,电子束和离子柬曝光制造掩模和直接制造电路技术以及检查芯片及掩模板故障的技术成了微电子学技术进一步发展的关键。由于这些设备要求具有较大电流的电子束和离子束并达到亚微米定位精度的偏转,因此要求电子光学理论能对高精密聚焦偏转系统的计算进行优化,以及包括电子束、离子束内的库仑相互作用的电子光学理论等。
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