苑伟政，男，1961年生，博士，教授，博士研究生导师。现任西北工业大学现代制造工程研究所所长兼微机械与微细加工技术研究室主任，机械制造学科跨世纪学科带头人。
　　主要从事微机械与微细加工技术、CAM与CIMS、难加工材料切削加工与精密加工技术等方面的研究工作。近年来主持承担了包括国家自然科学基金在内的24项研究课题，获省部级科技进步奖5项，发表研究论文40余篇，其中10余篇被工程索引（EI）收入。
　　马炳和，男，1972年生，河北省辛集市人，博士，西北工业大学讲师。主要研究方向为微电子机械系统（MEMS）、微细加工技术、精密测试技术等。

　　微机械被誉为21世纪最具代表性的技术之一。《微机械与微细加工技术》共分8章，结合作者近年来的研究工作，系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果，内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、微传感器、微致动器及其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器人等等。《微机械与微细加工技术》可供从事微机械研究的科技人员使用，也可供相关学科的师生参考。

　　微电子的腾飞有赖于相关科技的支持，反过来它的发展也为更高层次上的科技飞跃带来了契机。伴随对硅、锗等半导体材料的进一步深入研究，源于微电子集成制造的硅微细加工技术逐渐成熟起来。1987年美国利用IC工艺首次制作出了直径为100um的硅静电微型电机，转子直径仅为60um。这一突破性的成就开辟了微型电子机械系统MEMS（或称微机械）的崭新领域，从而为微米科技的研究注入了新内容。作为一个综合性的新型学科，它已成为当今世界范围内的研究热点。
　　从微机械的加工方法来看，它主要起源于硅集成制造技术。因此微机械继承了集成电路器件所具有的微小、可靠、灵敏、低耗、高效、成本低、适于大批量生产等一系列优点。从功用上看，微机械还具有一般机械远不能及的优势。
　　（1）首先表现在活动空间、操作对象和工作环境上。微机械能够进入极狭小的空间进行作业，且不易对环境造成不必要的影响与破坏。这样在医学上，微机械可游弋于人体血管，去清除血栓或其它病理组织；在工程上，可以进入精密机械或仪器内部进行故障检修或其它操作。微机械还可以面对很脆弱、易损伤的工作对象，例如接通大脑中的细微神经、检修微型或超微型计算机中的通讯光纤等。此外，微机械还可出现于人类所不能及或不适宜的工作环境，如清洁长期运行于宇宙空间的卫星摄像机镜头、在有核辐射的场所执行任务等。
　　（2）与一般机械相比，微机械所表现出的智能化程度更高、实现的功能更趋于多样化。由于微机械的工作环境比较复杂，除了人类必备的控制以外，微机械自身也须具有一定程度上的自主分析、判断和处理特定事件的能力。在需要多个微机械共同去完成任务时，相互之间的分工和协作也是必需的。这都要求微机械具有较高的“智能”。
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绪论
第一章 微机械理论基础
1.1 微机械学
1.2 微动力学
1.3 微电子学
1.4 微光学
1.5 微流体力学
1.6 微热力学
1.7 微摩擦学
1.8 纳米生物学
1.9 分子装配技术

第二章 微机械材料与微结构
2.1 引言
2.2 微机械材料
2.2.1 硅材料
2.2.2 形状记忆材料
2.2.3 压电陶瓷／电致伸缩材料
2.2.4 超磁致伸缩材料
2.2.5 电流变体
2.2.6 磁流变体
2.2.7 有机聚合物材料
2.3 微结构与微型智能结构
2.3.1 主动控制结构类
2.3.2 被动阻尼结构类

第三章 微细加工技术
3.1 引言
3.2 硅微细加工技术
3.2.1 薄膜制备技术
3.2.2 微机械器件薄膜制备技术
3.3 光刻技术
3.3.1 光刻掩模制作工艺
3.3.2 曝光技术
3.3.3 刻蚀技术
3.3.4 表面薄膜的化学刻蚀加工
3.4 牺牲层技术
3.5 外延技术
3.6 高能束刻蚀技术
3.6.1 离子束刻蚀
3.6.2 等离子体刻蚀
3.6.3 激光刻蚀
3.7 LIGA技术
3.8 微细立体光刻技术
3.9 精密放电加工技术与超精密机械加工技术
3.10 微机械装配与集成
3.10.1 堆装技术
3.10.2 封装技术
3.10.3 集成制造技术

第四章 准分子激光微细加工技术
第五章 微检测技术
第六章 微传感器
第七章 微致动器及其它微器件
第八章 典型微型电子机械系统与微机器人