《高等学校规划教材：真空技术》系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。《高等学校规划教材：真空技术》既注重真空技术中的知识体系，又反映真空技术中的最新发展，具有很强的针对性和实用性。
    《高等学校规划教材：真空技术》可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材，也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。

1 绪论
1.1 何为真空
1.2 真空度的表征及真空区域的划分
1.3 真空技术的历史回顾
1.4 不同真空状态下的真空工艺技术
1.5 真空技术的应用领域

2 稀薄气体分子运动理论
2.1 气体在平衡状态下的物理特性
2.2 气体的迁移过程
2.3 蒸发和凝结

3 吸附与脱附
3.1 吸附现象及吸附机理
3.2 吸附和脱附过程的描述
3.3 溶解和渗透

4 真空中的电现象
4.1 电子发射
4.2 气体放电

5 真空中的气体流动
5.1 气体流动状态及其判别
5.2 气体的流量和管道流导
5.3 简单管道的流导计算

6 真空泵的分类和性能
6.1 真空泵的分类
6.2 真空泵性能的表示法
6.3 真空泵的用途及使用范围
6.4 真空泵的型号及规格表示法

7 容积式真空泵
7.1 液环真空泵
7.2 往复式真空泵
7.3 油封机械泵
7.4 罗茨真空泵
7.5 干式真空泵

8 动量传递式真空泵
9 气体捕集式真空泵
10 真空测量
11 真空检漏
12 真空系统的组成
13 真空系统元件及连接
14 真空系统中常用材料和真空卫生
15 真空系统的设计计算
参考文献