本书所指的石英加速度计是基于牛顿第二运动定律，利用石英材料的机械强度特点形成挠性支撑结构，利用电容变化作为位移传感，通过电磁元件实现力反馈的摆式加速度计。本书主要围绕石英挠性加速度计技术展开论述。 石英挠性加速度计是一种性能优越的惯性测量元件，具有高精度、高灵敏度、低能耗和优良热稳定性等显著特点，同时具备便于小型化设计的优势。该技术已获得国际惯性技术领域的高度认可，被视为21世纪最具应用前景的理想惯性元件之一。本书系统地论述了石英挠性加速度计的原理、结构设计、核心零部件加工、装配、电子线路及测试技术，同时介绍了适用于石英挠性加速度计的稳定化处理方法，以及各种新型高精度加速度计等。 本书可供从事加速度计研究、设计的工程技术人员及相关院校师生阅读参考。

第1章 航海应用加速度计概述
1.1 高精度加速度计的航海应用背景
1.2 航海应用加速度计的性能要求
1.3 航海应用加速度计的发展现状和趋势
1.3.1 美国Honeywell公司
1.3.2 英国Innalabs公司
1.3.3 法国iXblue公司
1.3.4 天津航海仪器研究所
第2章 石英挠性加速度计工作原理与结构
2.1 概述
2.2 石英挠性加速度计工作原理
2.3 石英挠性加速度计结构
2.3.1 总体结构
2.3.2 摆部件结构
2.3.3 磁路结构
2.3.4 伺服线路结构
第3章 石英挠性加速度计性能分析
3.1 概述
3.2 加速度计模型方程系数
3.3 偏值稳定性分析
3.3.1 偏值稳定性影响因素
3.3.2 偏值时间稳定性分析
3.3.3 偏值温度稳定性分析
3.4 标度因数稳定性分析
3.4.1 标度因数稳定性影响因素
3.4.2 标度因数时间稳定性分析
3.4.3 标度因数温度稳定性分析
3.5 非线性系数分析
3.5.1 非线性系数及其引起的误差
3.5.2 非线性系数影响因素分析
第4章 高性能敏感元件设计与制造技术
4.1 概述
4.1.1 敏感元件功能和设计要求
4.1.2 敏感元件制造技术要求
4.1.3 制造技术的发展概况
4.2 高性能敏感元件设计
4.2.1 材料选择
4.2.2 功能结构设计
4.3 高性能敏感元件制造技术
4.3.1 工艺流程设计
4.3.2 工艺方法及工序设计
4.4 先进制造技术展望
4.4.1 皮秒贝塞尔激光加工石英玻璃
4.4.2 通过控制膜层误差提高加速度计偏值温度性能
第5章 力矩器与信号传感器设计技术
5.1 概述
5.2 永磁式力矩器设计技术
5.2.1 永磁材料的选择
5.2.2 永久磁铁工作点的选择
5.2.3 永久磁铁磁路的计算方法
5.3 永磁力矩器性能分析及材料最新进展
5.3.1 力矩器系数稳定性分析及解决措施
5.3.2 力矩器输出非线性分析及解决措施
5.3.3 永磁材料最新发展
5.4 电容传感器设计技术
5.4.1 工作原理及结构形式
5.4.2 电容传感器输出灵敏度
5.5 电容式传感器实际使用中的问题
5.5.1 静电力和静电力矩
5.5.2 温度误差影响
5.5.3 高阻抗引起的噪声干扰及抑制
第6章 精密装配工艺技术
6.1 概述
6.2 导磁环部件装配工艺技术
6.2.1 导磁环部件装配工艺要求
6.2.2 导磁环部件装配工艺方法
6.2.3 导磁环部件装配工装设计
6.3 摆部件装配工艺技术
6.3.1 摆部件装配工艺要求
6.3.2 摆部件装配工艺方法
6.3.3 摆部件装配工装设计
6.4 敏感表芯装配工艺技术
6.4.1 敏感表芯装配工艺要求
6.4.2 敏感表芯装配工艺方法
6.4.3 敏感表芯部件装配工装设计
6.5 整表装配技术
6.5.1 整表装配工艺要求
6.5.2 整表装配工艺方法
6.6 其他工艺技术
6.6.1 电子压焊工艺
6.6.2 引线键合工艺
第7章 高精度伺服回路技术
7.1 概述
7.2 直流模拟伺服回路
7.2.1 开关充放电式电容检测电路
7.2.2 功率放大电路与校正网络
7.2.3 开关充放电式电容检测噪声分析
7.3 交流模拟伺服回路
7.3.1 交流桥式电容检测电路
7.3.2 力矩电流发生器与校正环节
7.4 脉冲数字回路
7.4.1 脉冲力矩反馈回路
7.4.2 脉冲力矩反馈回路基本组成
第8章 高精度加速度计稳定化处理
8.1 稳定化处理的目的
8.2 稳定化处理的机理
8.3 稳定化处理的方法
8.3.1 概述
8.3.2 零部件的稳定化处理
8.3.3 整表的稳定化处理
第9章 高精度加速度计性能测试
9.1 概述
9.2 精度测试
9.2.1 重力场条件下的测试
9.2.2 高过载条件下的测试
9.3 可靠性测试
9.3.1 环境应力筛选试验
9.3.2 可靠性增长试验
9.4 测试设备
9.4.1 加速度激励设备
9.4.2 环境测试设备
9.4.3 加速度计测量设备
第10章 新型高精度加速度计
10.1 概述
10.2 石英振梁加速度计
10.2.1 原理
10.2.2 加工工艺
10.2.3 性能特点
10.3 MEMS加速度计
10.3.1 电容式MEMS加速度计
10.3.2 压阻式MEMS加速度计
10.3.3 压电式MEMS加速度计
10.3.4 隧道电流式MEMS加速度计
10.3.5 谐振式MEMS加速度计
10.3.6 光学式MEMS加速度计
10.3.7 石墨烯MEMS加速度计
10.4 其他新型加速度计
10.4.1 静电悬浮加速度计
10.4.2 量子加速度计
参考文献