在当下,中国半导体产业正面临着严峻的“卡脖子”困境,关键技术的受限成为产业前行路上的巨大阻碍。而《半导体微缩图形化与下一代光刻技术精讲》这本书,恰似黑暗中的一盏明灯,为我们突破困境带来了希望与助力。 本书聚焦半导体微缩图形化与光刻技术,这恰是半导体制造的核心环节,也是中国半导体产业被“卡脖子”的关键领域。书中全面且深入地阐述了从光刻机到下一代光刻技术的发展路径,从光刻胶材料到多重图形化技术的精妙之处。例如,对光掩膜从起源到制造工艺及未来挑战的细致讲解,能让我们清晰洞察这一关键技术的来龙去脉;对EUV光刻技术、电子束刻蚀技术等下一代光刻技术发展趋势的深度剖析,为我们探索新的技术突破方向提供了思路;在光刻胶材料技术上,含金属光刻胶等内容的介绍,有助于我们在材料研发上寻求创新。 本书的作者团队汇聚了冈崎信次等众多来自国际知名企业与科研机构的权威专家。他们丰富的经验与前沿的研究成果,为书中内容注入了强大的专业力量。 对于中国半导体行业的从业者而言,研读此书是打破技术封锁的重要一步。它能帮助我们深入理解相关技术原理与发展方向,启发我们在受限领域进行自主创新,为实现中国半导体关键技术的突破,推动产业迈向自主可控的未来提供坚实的知识支撑,是当下产业攻坚克难不可或缺的专业读物。
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