本书力求从简要、易懂、可操作性强的编写角度出发，概述聚焦离子束在各类失效分析中的应用原理、方法及重要性，并从实际工作角度出发，举例说明聚焦离子束在失效分析中的具体应用及注意要点；同时给出了聚焦离子束原位分析方法、应用及过程，介绍了聚焦离子束的最新自动化操作方向的发展及实际案例。 本书提供了较多鲜活案例，除少数为引用他人数据以外，主要为作者及其团队的近期实验结果，凝聚了对目前聚焦离子束失效分析技术应用的实践总结，具有较强的时效性和参考性。

第一章 聚焦离子束简介
1.1 聚焦离子束原理与分类
1.2 聚焦离子束的基本功能
1.3 聚焦离子束与各种典型材料的相互作用
第二章 聚焦离子束微纳尺度失效分析基本操作
2.1 导电与绝缘层材料的切割
2.2 导电与绝缘层材料的诱导沉积
2.3 保护层的去层与再沉积
第三章 芯片失效分析
3.1 芯片结构与制程
3.2 芯片失效分析原则与全流程
3.3 芯片失效分析中的聚焦离子束典型案例
第四章 芯片修补
4.1 芯片修复原则
4.2 芯片修复基本操作
4.3 芯片修复典型案例
第五章 聚焦离子束失效分析的样品处理
5.1 机械处理与化学处理方法
5.2 失效分析定位技术
5.3 等离子与离子束辅助处理
附录 聚焦离子束失效分析案例