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传感器与MEMS设计制造技术(精)/传感器与MEMS技术丛书
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￥ 268.00
图书来源: 浙江图书馆(由浙江新华配书)
此书还可采购15本，持证读者免费借回家
配送范围:
浙江省内
ISBN：
9787118134001
作 者：
编者:朱真|责编:张冬晔//郝刚
出 版 社 ：
国防工业出版社
出版日期：
2024-07-01
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作者简介
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内容介绍
本书结合作者的实践经验与研究成果，系统介绍了传感器与MEMS微系统的设计、加工、制造涉及的基础技术，包括硅基和非硅基材料的加工制造。具体涵盖的设计制造工艺包括：MEMS设计、光刻、介质层加工、金属层加工、干法刻蚀、湿法刻蚀、掺杂、表面处理、晶圆键合、MEMS封装、CMOS-MEMS集成、柔性传感器加工、印刷电子工艺、二维材料传感器加工、特殊材料传感器加工等。本书在介绍各加工技术时，强调对技术原理的理解，并分析该技术种类下各加工方法的细节和优缺点。
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