本书从MEMS惯性器件研究和设计的角度，系统论述了高性能MEMS惯性器件的工作原理、误差机理、设计与工艺技术等方面的理论、方法和关键技术。全书共6章，主要包括MEMS陀螺仪和MEMS加速度计的基本原理、MEMS陀螺仪典型结构及误差机理、高性能MEMS陀螺仪关键技术、MEMS加速度计典型结构及误差机理、高性能MEMS加速度计关键技术以及高性能MEMS惯性器件工艺技术等内容。 本书注重研究内容的系统性、创新性和实用性，研究内容、理论方法与工程实践紧密结合，可供从事MEMS惯性器件、惯性导航与控制系统技术研究和产品研制的科技人员和高等院校相关专业师生参考。

第1章 概述
1.1 微小型惯性器件技术发展概况
1.1.1 惯性器件技术概述
1.1.2 微小型陀螺仪技术发展概况
1.1.3 微小型加速度计技术发展概况
1.1.4 高性能MEMS惯性器件的主要特征
1.2 MEMS惯性器件关键技术
1.2.1 MEMS惯性器件结构设计技术
1.2.2 MEMS惯性器件工艺制造技术
1.2.3 MEMS惯性器件专用集成电路技术
1.3 MEMS惯性器件性能指标体系
1.3.1 常规物理特性指标
1.3.2 静态精度指标
1.3.3 动态性能指标
1.3.4 环境适应性指标
1.4 MEMS惯性器件发展及应用趋势
第2章 MEMS陀螺仪典型结构及误差机理
2.1 MEMS陀螺仪工作原理
2.1.1 哥氏效应原理
2.1.2 MEMS陀螺仪动力学方程
2.1.3 静电驱动原理
2.1.4 电容检测原理
2.2 MEMS陀螺仪的常见典型结构形式
2.2.1 线振动式MEMS陀螺仪
2.2.2 角振动式MEMS陀螺仪
2.2.3 振动环式MEMS陀螺仪
2.3 MEMS陀螺仪典型结构设计
2.3.1 双质量块MEMS陀螺仪典型结构设计
2.3.2 四质量块MEMS陀螺仪典型结构设计
2.4 单片三轴MEMS陀螺仪典型结构
2.4.1 单片三轴MEMS陀螺仪概述
2.4 ，2三轴敏感结构相对独立的结构方案
2.4.3 水平双轴敏感十之轴敏感的结构方案
2.4.4 三轴一体化设计方案
2.5 典型MEMS陀螺仪误差机理分析
2.5.1 MEMS陀螺仪随机误差
2.5.2 MEMS陀螺仪正交耦合误差
2.5.3 MEMS陀螺仪同相耦合误差
2.5.4 MEMS陀螺仪g敏感性误差
2.5.5 MEMS陀螺仪温度误差
2.5.6 MEMS陀螺仪力学环境误差
2.6 MEMS陀螺仪误差抑制方法
2.6.1 MEMS陀螺仪噪声抑制
2.6.2 MEMS陀螺仪正交误差抑制方法
2.6.3 MEMS陀螺仪温度误差抑制与补偿技术
2.6.4 MEMS陀螺仪非线性误差抑制技术
第3章 高性能MEMS陀螺仪关键技术
3.1 高性能MEMS陀螺仪驱动与信号检测技术
3.1.1 微小电容检测技术
3.1.2 MEMS陀螺仪驱动控制技术
3.1.3 MEMS陀螺仪解调检测技术
3.2 高性能MEMS陀螺仪闭环控制技术
3.2.1 检测轴力平衡闭环技术
3.2.2 MEMS陀螺仪正交刚度校正技术
3.2.3 检测轴频率调谐技术
3.3 高性能MEMS陀螺仪控制电路技术
3.3.1 MEMS陀螺仪ASIC的主要功能构成
3.3.2 MEMS陀螺仪模拟驱动电路
3.3.3 MEMS陀螺仪模拟检测电路
3.3.4 MEMS陀螺仪数字控制电路
3.3.5 MEMS陀螺仪ASIC中的其他重要模块
3.4 应用环境条件下高性能MEMS陀螺仪精度提高技术
3.4.1 高性能MEMS陀螺仪长期稳定性技术
3.4.2 温度环境条件下精度保持技术
3.4.3 振动冲击等力学环境下精度保持技术
3.5 应用条件下高性能MEMS陀螺仪相关工程性能提升技术
3.5.1 高性能MEMS陀螺仪量程设计
3.5.2 MEMS陀螺仪快速启动技术
3.5.3 MEMS陀螺仪带宽设计
3.6 高性能MEMS陀螺仪相关测试技术
3.6.1 高性能MEMS陀螺仪测试的特点
3.6.2 高性能MEMS陀螺仪温度环境精度测试
3.6.3 陀螺仪力学环境特性测试
3.7 动态应用环境下典型高性能MEMS陀螺仪性能提升技术
3.7.1 弹旋频率测量用大量程MEMS陀螺仪性能提升技术
3.7.2 高速旋转导弹偏航MEMS陀螺仪性能提升技术
第4章 MEMS加速度计典型结构及误差机理
4.1 MEMS加速度计工作原理
4.2 MEMS加速度计典型结构形式
4.2.1 “三明治”式MEMS加速度计
4.2.2 梳齿式MEMS加速度计
4.2.3 扭摆式MEMS加速度计
4.2.4 谐振式MEMS加速度计
4.3 典型MEMS加速度计结构设计
4.3.1 “三明治”MEMS加速度计结构设计
4.3.2 梳齿式MEMS加速度计结构设计
4.3.3 扭摆式MEMS加速度计结构设计
4.3.4 谐振式MEMS加速度计结构设计
4.4 单片三轴MEMS加速度计结构设计
4.4.1 单敏感质量结构
4.4.2 多敏感质量结构
4.5 MEMS加速度计误差机理分析
4.5.1 MEMS加速度计误差模型
4.5.2 MEMS加速度计的本征性误差
4.5.3 MEMS加速度计的环境因素误差
4.5.4 MEMS加速度计误差抑制方法
4.6 MEMS加速度计工程化需考虑的因素
4.6.1 结构设计及加工中的工程化考虑因素
4.6.2 电路设计中的工程化考虑因素
4.6.3 测试与补偿中的工程化考虑因素
第5章 高性能MEMS加速度计关键技术
5.1 高性能MEMS加速度计结构设计技术
5.1.1 高性能MEMS加速度计综合精度提升技术
5.1.2 高性能MEMS加速度计全温性能结构优化技术
5.1.3 高性能MEMS加速度计抗高过载技术
5.2 高性能MEMS加速度计控制系统
5.2.1 高性能MEMS加速度计闭环控制系统模型
5.2.2 高性能MEMS加速度计电学模型化技术
5.3 高性能MEMS加速度计控制电路技术
5.3.1 高性能MEMS加