本书重点通过对蜂窝状PMUT数值模型的建立和等效电路等效模型推导，建立蜂窝状PMUT的特征参数表达式。依据得到的参数表达式结合有限元模型对蜂窝状PMUT进行设计和工艺实现，并将加工的蜂窝状PMUT阵列进行高性能电子听诊器样机开发和水听器系统实现。

第1章 绪论
1.1 研究背景概述
1.2 超声波换能器
1.2.1 电容式微机械超声波换能器
1.2.2 压电式微机械超声波换能器
1.3 压电式微机械超声波换能器应用领域
1.4 本书的总体研究方案及内容安排
第2章 蜂窝状PMUT结构设计和特性分析
2.1 蜂窝状PMUT结构设计及工作原理
2.1.1 蜂窝状PMUT结构设计
2.1.2 蜂窝状PMUT工作原理
2.2 PMUT压电敏感层材料参数对比
2.3 蜂窝状PMUT敏感单元数值模型
2.3.1 振动薄膜位移函数
2.3.2 边界条件
2.3.3 振动薄膜函数解析解
2.3.4 蜂窝状PMUT敏感单元模型修正
2.3.5 蜂窝状PMUT敏感单元模型实验验证
2.4 蜂窝状PMUT敏感单元等效电路模型
2.4.1 蜂窝状PMUT敏感单元发射模式等效电路模型
2.4.2 蜂窝状PMUT敏感单元接收模式等效电路模型
2.5 蜂窝状PMUT敏感单元有限元模型
2.6 蜂窝状PMUT敏感单元电极结构优化设计
2.7 PMUT工艺平台
2.8 本章小结
第3章 蜂窝状PMUT特性表征
3.1 蜂窝状PMUT形貌表征
3.2 蜂窝状PMUT电容值测试
3.3 蜂窝状PMUT敏感单元测试
3.4 声压灵敏度测试
3.4.1 蜂窝状结构对声压灵敏度的影响
3.4.2 钪掺杂对声压灵敏度的影响
3.4.3 差分输出对声压灵敏度的影响
3.4.4 顶层氧化物厚度对声压灵敏度的影响
3.5 蜂窝状PMUT阵列封装
3.5.1 PCB封装
3.5.2 声压传播理论模型
3.5.3 封装工艺流程
3.6 蜂窝状PMUT阵列性能表征
3.6.1 收发一体性能测试
3.6.2 发射电压响应级测试
3.6.3 接收灵敏度测试
3.6.4 指向性测试
3.7 本章小结
第4章 蜂窝状PMUT应用研究
4.1 基于蜂窝状PMUT阵列的电子听诊器
4.1.1 电子听诊器远程监测系统概述
4.1.2 电子听诊器系统
4.1.3 电子听诊器心音测试
4.1.4 电子听诊器临床心音测试
4.1.5 电子听诊器肺音测试
4.1.6 电子听诊器临床肺音测试
4.1.7 上位机智能诊断系统开发
4.2 基于蜂窝状PMUT阵列的水听器
4.2.1 水听器噪声分析
4.2.2 水听器封装测试
4.2.3 水听器等效噪声密度测试
4.2.4 水听器声压灵敏度测试
4.2.5 水听器温度稳定性测试
4.2.6 水听器长期稳定性测试
4.2.7 水听器非线性测试
4.3 本章小结
第5章 总结与展望
5.1 工作总结
5.2 工作展望
参考文献