随着先进的集成电路工艺节点不断向纳米级推进,对半导体纳米器件的研究就显得越发重要。本书详细介绍了半导体纳米器件的物理学原理、结构、制造工艺及应用等内容。开篇介绍了这一研究领域在过去几十年的发展;前半部分重点介绍电子纳米器件,包括准一维电子气、强电子相关的测量、量子点的热电特性、单电子源、量子电流标准、电子量子光学、噪声测量、拓扑绝缘体纳米带、硅量子比特器件等;后半部分介绍光电子纳米器件,包括半导体量子点单光子源的电学控制、量子点太阳能电池、量子点激光器、纳米线激光器,以及氮化物单光子源等内容。
本书可供半导体器件、材料、物理相关科研人员和工程技术人员阅读参考,也可作为高校相关专业的拓展学习资料。
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