本书是一本针对蒙特卡罗模拟电子与材料相互作用过程的专著，主要内容包括了电子在固体中输运过程的散射截面和散射机制，以及蒙特卡罗模拟时所需的最小值计算及随机数产生，并且介绍了连续慢化近似和能量歧离两种蒙特卡罗模拟策略，针对实例给出了背散射系数、二次电子发射系数和二次电子能谱的模拟及与实验结果的比较，最后还讨论了蒙特卡罗方法的一些重要应用。 本书内容既适合于具有一定物理电子学基础，并希望了解电子与材料相互作用模拟过程的初级入门者，又适合于研究电子与材料相互作用的相关研究者参考使用。

第1章 固体中电子的输运
1.1 动机：电子为何重要
1.2 蒙特卡罗方法
1.3 蒙特卡罗要素
1.4 电子束与固体的相互作用
1.5 电子能量损失峰
1.6 俄歇电子峰
1.7 二次电子峰
1.8 材料的表征
1.9 小结
参考文献
第2章 最小值计算
2.1 数值微分
2.2 数值积分
2.2.1 梯形法则、辛普森法则和BOde法则
2.2.2 高斯积分
2.3 常微分方程
2.4 数学物理的特殊函数
2.4.1 勒让德多项式及连带勒让德函数
2.4.2 贝塞尔函数
2.5 小结
参考文献
第3章 散射截面的基本理论
3.1 散射截面和散射概率
3.2 阻止本领和非弹性散射平均自由程
3.3 射程
3.4 能量歧离
3.5 小结
参考文献
第4章 散射机制
4.1 弹性散射
4.1.1 Mott散射截面与屏蔽卢瑟福散射截面
4.1.2 极化电子束一原子弹性散射
4.1.3 电子一分子弹性散射
4.2 准弹性散射
4.2.1 电子一声子相互作用
4.3 非弹性散射
4.3.1 阻止本领：Bethe-Bloch公式
4.3.2 阻止本领：半经验公式
4.3.3 介电理论
4.3.4 DInde函数之和
4.3.5 MetThin理论
4.3.6 交换效应
4.3.7 极化效应
4.4 界面现象
4.5 小结
参考文献
第5章 随机数
5.1 伪随机数的产生
……
第6章 蒙特卡洛策略
第7章 电子束与固体和薄膜互作用的基本理论
第8章 背散射系数
第9章 二次电子发射系数
第10章 二次电子能量分布
第11章 应用