第1章 扫描电镜基础理论
1.1 电子束与物质的相互作用
1.1.1 电子束成像
1.1.2 电子束照射样品
1.1.3 弹性散射
1.1.4 非弹性散射
1.1.5 电子束与物质相互作用体积的估算
1.2 背散射电子的产生与性质
1.2.1 背散射电子的来源
1.2.2 影响背散射电子信号的因素
1.2.3 背散射电子的分布
1.3 二次电子的产生与性质
1.3.1 二次电子的来源
1.3.2 二次电子的能量分布
1.3.3 二次电子的逸出深度
1.3.4 二次电子产额与原子序数的关系
1.3.5 二次电子产额与样品倾转角的关系
1.3.6 二次电子产额与入射电子束能量的关系
1.3.7 二次电子的角分布
1.3.8 二次电子的空间分布特性
1.4 特征X射线的产生与性质
1.4.1 特征X射线产生原理
1.4.2 荧光产额
1.4.3 特征X射线族
1.4.4 特征X射线的命名
1.4.5 特征X射线强度
1.5 连续X射线的产生与性质
1.5.1 韧致辐射强度
1.5.2 X射线的完整能谱
1.5.3 产生X射线的电子射程范围
第2章 扫描电镜的结构和成像原理
2.1 扫描电镜的结构
2.1.1 电子光学系统
2.1.2 信号收集系统
2.1.3 图像显示系统
2.1.4 真空系统
2.1.5 电源供给系统
2.2 扫描电镜探测器
2.2.1 背散射电子和二次电子的特性
2.2.2 背散射电子探测器
2.2.3 二次电子探测器
2.2.4 样品本身作为探测器
2.2.5 探测器参数
2.3 扫描电镜图像形成原理
2.3.1 通过扫描创建图像
2.3.2 分辨率
2.3.3 放大倍数、图像尺寸和标尺
2.4 扫描电镜图像
2.4.1 背散射电子像
2.4.2 二次电子像
2.4.3 扫描电镜图像校准
2.5 电子束参数
2.5.1 电子束能量
2.5.2 电子束束斑直径
2.5.3 电子束束流强度和束流密度
2.5.4 电子束会聚角
2.5.5 电子束立体角
2.5.6 电子束亮度
2.5.7 聚焦状态与工作距离
2.6 扫描电镜的成像模式
2.6.1 高景深模式
2.6.2 高束流模式
2.6.3 高分辨率模式
2.6.4 低加速电压模式
第3章 扫描电镜的调试和参数选择
3.1 扫描电镜调试
3.1.1 机械对中
3.1.2 电磁对中
3.1.3 像散校正
3.2 工作参数选择
3.2.1 探测器
3.2.2 模拟背散射
3.2.3 加速电压
3.2.4 减速模式
3.2.5 工作距离
3.3 扫描电镜图像缺陷
3.3.1 图像散焦
3.3.2 荷电
3.3.3 辐照损伤
3.3.4 莫尔干涉条纹
3.3.5 样品污损
第4章 扫描电镜样品制备
4.1 粉末样品的制备
4.1.1 超声分散法
4.1.2 直接分散法
4.2 截面样品的制备
4.2.1 截面样品台
4.2.2 硅片上沉积膜的截面样品制备
4.2.3 玻璃片上沉积膜的截面样品制备
4.2.4 金属薄片基底上沉积膜的截面样品制备
4.2.5 锂电池正负极材料的截面样品制备
4.2.6 厚膜截面样品制备
4.2.7 陶瓷微球截面样品制备
4.2.8 软膜截面样品制备
4.3 磁性材料样品的制备
4.4 生物样品的制备
4.5 喷镀导电涂层
4.6 样品清洗
第5章 场发射扫描电镜在生物、环境和材料领域中的应用
5.1 在植物花粉研究中的应用
5.1.1 样品制备
5.1.2 扫描电镜参数选择
5.1.3 几种植物花粉的形貌
5.2 在纳米材料研究中的应用
5.2.1 样品制备
5.2.2 纳米ZnO
5.2.3 纳米TiO
5.2.4 纳米PbS
5.2.5 其他纳米化合物
5.3在PM2.5 颗粒物研究中的应用
5.4 在建筑材料研究中的应用
5.5 在沉积膜研究中的应用
5.5.1 Fe和Al2O3多层膜
5.5.2 光学元件
5.5.3 TiAlSiN膜
5.6 在磁性粉末研究中的应用
5.7 在纳米催化剂研究中的应用
参考阅读
附录书中符号说明
后记
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