1 红外探测器封装集成设计技术
1.1 封装技术概述
1.2 封装设计技术
1.3 先进红外焦平面探测器封装
1.4 气密性封装的要求和结构
参考文献
2 微型金属杜瓦设计技术
2.1 杜瓦概述
2.2 微型金属杜瓦
2.3 杜瓦主要特性参数指标
2.3.1 热负载
2.3.2 降温时间
2.4 杜瓦传热学数学模型
2.4.1 热质量计算方法
2.4.2 探测器/杜瓦瓶/制冷器（机）组合的热流分析
2.4.3 固体材料传导的热量损耗Qs
2.4.4 辐射传导造成的热量损耗QR
2.4.5 真空空间残余气体传导的热量损耗Qc
2.4.6 粘接界面对接触热阻的影响
2.4.7 胶层厚度对器件性能的影响
2.4.8 胶层内应力对器件的影响
2.5 杜瓦工程设计计算实例
2.5.1 热设计
2.5.2 绝热设计
2.5.3 热损失（漏热）计算
2.6 微型金属杜瓦封装出现的突出问题
2.7 分置式杜瓦与斯特林制冷器（机）的热耦合技术
2.7.1 内管密闭空间可能获得的真空压力
2.7.2 气体热传导耦合热负载的近似计算
2.7.3 内管密闭空间可能的最大升压率与漏气率
2.7.4 制冷器（机）与杜瓦瓶之间的机械接口设计
2.8 高可靠性封装共性技术
2.8.1 红外焦平面探测器的封装结构可靠性设计
2.8.2 基板技术
2.8.3 电气互连技术
2.8.4 冷屏蔽技术
2.8.5 红外焦平面探测器冷屏蔽优化设计方法
2.8.6 光学（元件）设计
2.8.7 绝热设计技术
2.9 关键工艺可靠性
2.9.1 工艺可靠性与产品质量、成品率
2.9.2 互连工艺
2.9.3 微装配组装工艺
2.9.4 超高气密性密封工艺
2.9.5 部分封装工艺质量特性考核指标
参考文献
3 高效率产生长寿命真空与工艺技术
3.1 工艺对象特性与要求
3.1.1 真空度与气体压强
3.1.2 真空腔体结构特性
3.1.3 杜瓦腔体工作真空度
3.1.4 杜瓦有用真空寿命
3.1.5 杜瓦真空质量特性指标
3.2 排气工艺总方案
3.2.1 真空获得设备
3.2.2 超高真空泵
3.2.3 其他装置设备
3.2.4 冷压扩散焊接液压钳
3.2.5 排（抽）气机组
3.3 排气工艺策略
3.3.1 约束条件
3.3.2 排气一般规律
3.3.3 有效排气措施
3.3.4 激活处理
3.3.5 冷压扩散焊接
3.4 零部件真空完善性设计与制造
3.5 真空表面制造处理工艺技术
3.5.1 机械切削表面
3.5.2 真空表面卫生
3.6 组装前真空预除气条件的选择
3.6.1 烘烤预除气
3.6.2 真空度
3.6.3 烘烤温度与时间
3.7 工艺方案选择
3.8 关键工艺参数
3.9 工艺实施效果评价
3.9.1 工序能力指数计算
3.9.2 工序能力分析
3.9.3 排气工序质量特性离散的分析
3.9.4 提高工序能力的途径
3.10 杜瓦腔体里的气体负载
3.10.1 气体源
3.10.2 气体成分
3.11 排气过程描述
3.12 抽出空间大气的气体量与流量
3.13 高温烘烤排气
3.14 放气速率
3.15 St172型NEG泵
3.15.1 拍气原理
3.15.2 拍气性能
3.15.3 活性气体的饱和浓度
3.15.4 激活、再激活和再生
3.16 红外焦平面探测器杜瓦组件的真空特性
3.16.1 真空质量特性要求
3.16.2 封离真空杜瓦内的气体源
3.16.3 杜瓦腔体里的气体升压速率
3.16.4 寿命周期内的总气体量
3.17 用NEG维持封离真空杜瓦长寿命
3.17.1 抽气封离真空前激活NEG
3.17.2 完全开发NEG饱和吸气量
3.17.3 有限吸气量和再激活次数
3.17.4 几种NEG损坏失效模式
3.17.5 结论
参考文献
4 微型金属杜瓦质量特性参数测试评价技术
4.1 热流测量原理及方法
4.1.1 测量热负载的数学模型
4.1.2 被测量检测判据
4.1.3 结霜对微型金属杜瓦热流测量质量的影响
4.2 高精度热流测试技术
4.2.1 测试装置的构成及各部分描述
4.2.2 测试过程与主要功能
4.2.3 检测判据
4.2.4 高精度热负载测量
4.3 微型金属杜瓦真空获得与寿命试验测试系统
4.3.1 真空可靠性概述
4.3.2 在线检测微型金属杜瓦瓶寿命的装置及方法
4.3.3 定容式极小流量寿命试验测试系统
4.4 验证封装红外探测器杜瓦绝热功能的检测装置
4.4.1 概述
4.4.2 制冷接口检测状态及参数指标
4.4.3 验证检测绝热特性参数
4.4.4 结论
参考文献
5 微型金属杜瓦的高可靠长寿命预计与测试技术
5.1 可靠性概述
5.2 故障物理分析
5.3 真空失效机理与模式
5.3.1 材料的渗透性
5.3.2 材料的出气
5.3.3 气体吸附
5.3.4 微型金属杜瓦偶然失效
5.4 真空失效的界定与表征
5.5 真空失效的气体源
5.6 热负载与热负载增加量
展开
