本书共分为十一章。第1章对MEMS技术及其发展情况做了全面论述。主要介绍了MEMS的特点及其应用，再对MEMS的研究内容和发展情况做了论述，最后介绍了MEMS工艺的发展情况。第2章主要是对微机电系统有关力学基础的论述，还介绍了流体力学在MEMS中的特殊规律性，最后对MEMS器件中出现的静电力和黏附力情况做了评述。第3章对MEMS制造工艺做了全面评述，其方式十分丰富，涉及各种现代微电子半导体加工技术。第4章阐述了关于RF MEMS器件设计的微波技术，对RF MEMS器件经常使用的微带传输线及其慢波理论做了详细分析，还论述了微波滤波网络微尺度下，微机械天线的电磁辐射、耦合理论及其分形结构原理在可重构天线和滤波器器件中应用的情况。第5章主要阐述了RF MEMS可重构天线，阐释了RF MEMS开关在可重构天线中的应用，通过实例说明射频微机械天线的制作原理、设计、工艺过程。第6章重点阐述了RF MEMS可重构滤波器的原理、设计方法。第7章阐释了RF MEMS可重构匹配网络，通过举例介绍了可重构匹配网络设计方法及其实现过程。第8章介绍了RF MEMS谐振器，主要阐述了RF MEMS谐振器的研究情况及其工艺。第9章主要介绍了MEMS模拟与仿真。第10章介绍了微机电系统的常用材料。第11章介绍了MEMS的发展趋势。

第l章 绪论
1.1 MEMS基本特点
1.2 MEMS在各学科领域的应用研究
1.3 MEMS研究内容
1.4 MEMS发展简史
1.5 工艺的发展
第2章 微机电系统力学基础
2.1 MEMS尺寸效应
2.2 微机械的弹性梁力学问题
2.3 流体力学
2.4 黏附力
2.5 静电力
参考文献
第3章 MEMS工艺
3.1 光刻
3.2 淀积
3.3 腐蚀
3.4 键合
3.5 MEMS工艺的发展趋势
第4章 RF MEMS器件设计微波基础
4.1 微带传输线
4.2 慢波共面波导传输线
4.3 两端口微波网络
4.4 微波滤波网络
4.5 微尺度下微机械天线的电磁辐射和耦合理论
4.6 分形结构原理
4.7 分形天线的形式结构
4.8 分形自相似滤波原理
4.9 小结
参考文献
第5章 RF MEMS可重构天线
5.1 概述
5.2 典型的微波硅基MEMS可重构天线设计
5.3 硅基可重构天线设计
5.4 掩膜版的制作
5.5 天线的测试结果
5.6 典型的硅基MEMS可重构分形天线设计
5.7 Koch，Single-Arm Spiral，Double-Ring分形天线的设计
5.8 小结
参考文献
第6章 RF MEMS可重构滤波器
6.1 概述
6.2 分布参数法设计微波滤波器
6.3 传输线理论基础
6.4 带通滤波器的设计方法
6.5 典型的RF MEMS可调滤波器
6.6 典型的电磁带隙技术滤波器
6.7 基于MEMS技术的EGs结构用于可重构低通滤波器的设计举例
6.8 MEMS滤波器的未来发展
参考文献
第7章 RF MEMS可重构匹配网络
7.1 概述
7.2 RF MEMS可重构匹配网络设计方法
7.3 RF MEMS可重构匹配网络上的电流
7.4 RF MEMS可重构匹配网络举例
参考文献
第8章 RF MEMS谐振器
8.1 概述
8.2 RF MEMS谐振器基本知识
8.3 RF MEMS谐振器工艺
8.4 RF MEMS谐振器研究
8.5 结论
参考文献
第9章 MEMS模拟与仿真
9.1 有限元分析介绍
9.2 有限元法分析计算的思路和做法
9.3 COMSOL Multiphysics软件
9.4 COMSOL二次开发工具
9.5 其他微机电模拟仿真软件
9.6 微机电模块
第10章 微机电系统材料
10.1 硅
10.2 砷化镓
10.3 MEMS中的陶瓷材料
10.4 形状记忆合金材料
10.5 MEMS中的磁致伸缩材料
10.6 MEMS中的流变体
第11章 MEMS的发展趋势
11.1 可调谐的网络及其滤波器
11.2 开关
11.3 变容器和电感器
11.4 电路和移相器
11.5 小结
11.6 后续
参考文献