目录
第1章光学非球面测量概述
1.1光学非球面的应用
1.2光学非球面的分类及数学描述
1.2.1非球面分类
1.2.2非球面方程
1.3光学非球面检测及评价指标
1.3.1面形误差和参数误差
1.3.2几何像差与泽尼克多项式
1.4光学非球面检测方法
1.4.1接触式测量法
1.4.2几何检测法
1.4.3干涉检测法
参考文献
第2章激光束偏转法与逆向哈特曼波前检测法
2.1激光束偏转法
2.1.1测量光路方案
2.1.2光斑位置测量
2.1.3斜率计算
2.2逆向哈特曼波前检测法
2.2.1逆向哈特曼波前检测法测量原理
2.2.2测量分辨率、测量灵敏度及斜率测量范围
参考文献
第3章部分补偿数字莫尔移相干涉法
3.1概述
3.2部分补偿法
3.2.1基本原理
3.2.2非球面部分补偿镜设计
3.2.3自由曲面部分补偿镜设计
3.3数字莫尔移相干涉法
3.3.1虚拟干涉仪的建立
3.3.2莫尔合成与滤波
3.4系统标定和校正
3.4.1干涉仪标定
3.4.2部分补偿镜标定
3.4.3被测非球面标定
参考文献
第4章非球面参数误差干涉测量
4.1相关概念
4.1.1非球面的法线像差
4.1.2斜率非球面度
4.2基于最佳补偿位置的非球面参数误差测量原理
4.2.1最佳补偿位置的定义
4.2.2部分补偿干涉系统的最佳补偿位置理论模型
4.2.3非球面参数误差与最佳补偿位置的关系
4.2.4非球面参数误差测量原理
4.3非球面参数误差测量方法
4.3.1非球面参数误差测量系统
4.3.2非球面参数误差测量流程
4.4非球面参数误差测量系统及实验结果
4.4.1实验系统搭建
4.4.2实验结果与分析
参考文献
第5章非球面干涉检测动态范围扩展研究
5.1高陡度非球面检测的意义
5.2两步载波拼接干涉测量
5.2.1数字莫尔移相法的局限
5.2.2两步载波拼接干涉原理及关键技术
5.2.3仿真分析
5.2.4实测验证
5.2.5TCSM算法应用讨论
5.3数字莫尔-牛顿迭代优化干涉测量
5.3.1数字莫尔-牛顿迭代解相原理
5.3.2仿真分析与比较
5.3.3实测验证
参考文献
索引