陆学斌，哈尔滨理工大学软件与微电子学院副教授，哈尔滨工业大学博士。2010年毕业于哈尔滨工业大学航天学院。目前主要从事半导体材料、传感器、模拟和数字集成电路等方面的相关研究。发表Ei或SCI检索论文12篇，教改论文4篇；主持黑龙江省自然科学基金面上项目1项、黑龙江省教育科学十三五规划课题1项、黑龙江省高等教育学会十三五规划课题1项；申请并获授权实用新型专利2项；出版教材4部。2016年获哈尔滨理工大学校级优秀教师，2018年获哈尔滨理工大学校级三全育人之先进个人。

第１章 绪论

第２章 工艺条件对多晶硅纳米薄膜特性的影响

第３章 多晶硅纳米薄膜的杨氏模量研究

第４章 多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用研究

第５章 多晶硅纳米薄膜压力传感器的测试与分析

参考文献