第1章 声波技术的基本原理和应用
1.1 引言
1.2 声波清洗的基本原理
1.2.1 超声处理的基础知识及其在颗粒清除中的作用
1.2.2 声波清洗的历史、类别和优点
1.2.3 声波清洗的原理
1.3 声波技术的应用趋势
1.3.1 声波清洗在微电子工业中的重要性
1.3.2 在牙科中的应用
1.3.3 在海洋生物学中的应用
1.3.4 超声波在食品工业中的应用
1.3.5 过滤过程中的膜清洗
1.3.6 创新的应用
1.4 利用声波清除污染物和颗粒物
1.4.1 污染物类型
1.4.2 颗粒物去除的常规技术
1.4.3 声学去除微粒和纳米颗粒
1.5 小结
参考文献
第2章 可剥离涂层在清除表面污染物中的应用
2.1 引言
2.2 涂层简介
2.2.1 涂层性能
2.3 可剥离涂层的应用
2.3.1 光学表面
2.3.2 其他应用
2.4 关于可剥离涂层的问题
2.5 小结
致谢
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参考文献
第3章 二氧化碳雪清洗应用
3.1 引言
3.2 CO2 雪清洗-背景
3.2.1 热力学
3.2.2 清洗机理
3.3 设备和过程控制
3.3.1 喷嘴和设备
3.3.2 过程控制
3.4 应用
3.4.1 表面科学
3.4.2 望远镜镜面的清洗
3.4.3 半导体应用
3.4.4 薄膜
3.4.5 其他应用
3.5 小结
参考文献
第4章 固态二氧化碳（干冰）球粒喷射在去除表面污染物中的应用
4.1 引言
4.2 表面污染和表面清洁度等级
4.3 CO2 球粒清洗影响因素
4.3.1 相行为
4.3.2 干冰的性质
4.3.3 CO2 球粒清洗机理
4.3.4 工艺说明
4.4 清洗系统
4.4.1 球粒生产
4.4.2 输送系统
4.4.3 喷嘴
4.4.4 辅助设备
4.5 应用实例
4.5.1 半导体工艺组件的清洗
4.5.2 化学气相沉积反应釜清洗
4.5.3 金属清洗和表面处理
4.5.4 工业织物清洗
4.5.5 食品与饮料加工设备
4.5.6 害虫除灭
4.5.7 医疗器械清洗
4.5.8 药物低温球磨
4.5.9 核去污
4.5.10 设施维护
4.5.11 文物保护应用
4.5.12 油田工具清洗
4.5.13 清洗通风管和排水管
4.6 其他
4.6.1 成本
4.6.2 优点和缺点
4.7 小结
致谢
免责声明
参考文献
第5 章 液态CO2 在去除表面污染物中的应用
5.1 引言
5.2 表面污染和清洁度
5.3 液态CO2 的特征
5.3.1 CO2 为稠密相流体
5.3.2 液态CO
5.3.3 液态CO2 清洗原理
5.3.4 清洗系统
5.3.5 应用实例
5.4 其他
5.4.1 成本
5.4.2 液态CO2 清洗的优点和缺点
5.5 小结
致谢
免责声明
参考文献
第6章 超临界CO2在去除表面污染物中的应用
6.1 引言
6.2 表面污染和表面清洁度
6.3 应用领域
6.3.1 超临界CO
6.3.2 应用实例
6.4 其他
6.4.1 成本
6.4.2 SCCO2 清洗的优点和缺点
6.5 小结
致谢
免责声明
参考文献
第7章 激光清洗工艺在高价值制造业中的应用
7.1 激光清洗工艺和需求
7.1.1 干法激光清洗
7.1.2 湿法 蒸汽激光清洗
7.1.3 角激光清洗
7.1.4 激光冲击清洗
7.1.5 激光辅助光动力清洗
7.1.6 用于激光清洗的普通激光系统
7.1.7 工业组件中发现的典型污染物
7.2 激光清洗在各个行业中的应用
7.2.1 航空航天领域的激光清洗
7.2.2 汽车行业的激光清洗
7.2.3 核工业中的激光清洗
7.2.4 工具和模具中的激光清洗
7.2.5 碳纤维增强聚合物的激光清洗
7.3 小结
参考文献
第8章 等离子体去污的基本原理和应用
8.1 引言
8.2 等离子体的基本原理和性质
8.2.1 等离子体基础
8.2.2 等离子体-表面相互作用
8.2.3 去污等离子体源
8.2.4 等离子体去污的优势
8.3 等离子体技术在生物材料医学应用中的实践
8.3.1 去污和杀菌
8.3.2 改善附着力和表面活化
8.3.3 增强润湿性和生物相容性
8.4 半导体制造中的等离子体清洗
8.4.1 等离子体诱导的光刻胶剥离和去污
8.4.2 硅基板的等离子体去污
8.4.3 半导体生产线后端的等离子体去污
8.5 多种表面精密清洗的重要性
8.5.1 光伏太阳能电池清洗
8.5.2 多用途光学组件清洗
8.5.3 电子显微镜的等离子体清洗
8.5.4 考古文物的恢复和保存
8.5.5 等离子体强化清洗的其他应用
8.6 小结
参考文献
第9章
展开
