本书从当今世界面临能源危机的现实问题出发，深入浅出地介绍了使用磁控溅射方法制备β-FeSi2，薄膜的方法和工艺及太阳能薄膜电池的制备测试结果。全书共分7章，包括绪论、半导体太阳能电池基本原理制备设备与表征设备、β-FeSi2薄膜的制备及特性研究、β-FeSi2薄膜异质结的制备及性能研究、β-FeSi2薄膜电池模拟，β-FeSi2薄膜电池的制备研究等。涉及材料性质的理论研究、制备测试及其实际应用研究，对材料的制备工艺、太阳能电池结构的理论模拟和器件制备工艺，均有一定的阐述，对后来的研究者具有一定的借鉴意义。 本书适合从事半导体太阳能电池及其相关专业的师生使用.也可作为从事薄膜太阳能电池研究的技术人员的参考用书。

前言
第1章 绪论
1.1 引言
1.2 β-FeSi2的基本性质
1.3 β-FeSi2薄膜的制备及应用
第2章 半导体太阳能电池基本原理
2.1 PN结对太阳光的吸收
2.2 太阳能电池基本原理
2.3 太阳能电池基本结构
2.4 太阳能电池参数分析
第3章 制备设备与表征设备
3.1 制备设备
3.2 表征设备
第4章 β-FeSi2薄膜的制备及影响因素
4.1 β-FeSi2薄膜的制备参数
4.2 退火温度的影响
4.3 退火时间的影响
4.4 Fe膜厚度的影响
4.5 气体流量的影响
4.6 溅射气压的影响
4.7 溅射功率的影响
4.8 β-FeSi2薄膜的光学特性
4.9 β-FeSi2薄膜的电学特性
第5章 β-FeSi2：薄膜异质结的制备及性能研究
5.1 β-FeSi2/Si异质结
5.2 Si/β-FeSi2/Si异质结
第6章 β-FeSi2：薄膜电池的模拟
6.1 AMPS—lD软件
6.2 其他软件
6.3 β-FeSi2/薄膜厚度的确定
6.4 β-FeSi2/Si薄膜电池的模拟
6.5 Si/β-FeSi2/Si薄膜电池的模拟
第7章 β薄膜电池的制备研究
7.1 β/FeSi2异质结电池
7.2 Si/β-FeSi2/Si异质结电池
参考文献