反馈控制方法受限于机械系统谐振频率和伯德(Bode)积分定理,闭环带宽不可能无限提高,控制精度有限,难以满足现代精密运动系统高产量、高品质的性能需求。前馈控制在精密运动平台(如光刻机硅片台、工业打印机等)加速运动过程中,可以大幅减少南参考轨迹引起的误差,缩短调整时间,从而增加系统产量;在匀速生产过程中,可以有效补偿外部扰动引起的误差,提高控制精度,保证产品品质。本书针对精密运动系统巾存在的重复、非重复运动过程,引入迭代学习思想,分别研究了非固定结构、固定结构前馈控制器的设计方法,对提高精密运动系统的伺服性能有着重要意义。
本书可作为高等院校自动控制或机电类专业研究生的教材或参考书,也可供工程技术人员参考。
展开