第1章 绪论
1.1 概述
1.2 固体润滑
1.2.1 固体润滑特性
1.2.2 固体润滑机理
1.2.3 摩擦学系统
1.3 超低摩擦DLC膜
1.3.1 超低摩擦
1.3.2 DLC膜超低摩擦的起源
1.3.3 DLC膜的结构概述
1.3.4 DLC膜的制备概述
1.4 DLC膜超低摩擦行为的研究现状
1.4.1 真空/惰性气体
1.4.2 潮湿空气
1.4.3 油润滑
1.4.4 温度
1.4.5 速度和载荷
1.4.6 DLC膜应用中存在的问题
1.5 DLC膜超低摩擦机理
1.5.1 转移膜理论
1.5.2 化学吸附钝化悬挂键理论
1.5.3 滑行界面石墨化理论
1.6 本章小结
第2章 DLC膜的制备
2.1 概述
2.2 物理气相沉积法
2.2.1 离子束沉积法
2.2.2 直流溅射法
2.2.3 磁控溅射法
2.3 化学气相沉积法
2.3.1 等离子体增强化学气相沉积法概述
2.3.2 PECVD法分类
2.4 电化学沉积法
2.4.1 电化学沉积特性
2.4.2 电化学沉积过程
2.5 本章小结
第3章 DLC膜的结构及表征
3.1 概述
3.2 DLC膜的杂化方式
3.2.1 杂化种类
3.2.2 DLC膜的分类
3.3 DLC膜的结构表征
3.3.1 拉曼光谱
3.3.2 电镜能谱
3.3.3 X射线光电子能谱
3.3.4 原子力显微镜
3.3.5 静态飞行时间二次离子质谱
3.4 DLC膜的机械性能
3.4.1 硬度
3.4.2 结合强度
3.4.3 循环冲击试验
3.5 本章小结
第4章 室温下DLC膜的超低摩擦行为
4.1 概述
4.2 大气下DLC膜的摩擦学性能
4.2.1 制备及性能测试
4.2.2 摩擦学性能
4.3 DLC膜的摩擦学性能
4.3.1 配副材料
4.3.2 载荷
4.3.3 速度
4.3.4 摩擦学机理
4.4 氮气下DLC膜的超低摩擦行为
4.4.1 膜基结合强度
4.4.2 DLC膜的摩擦学性能
4.4.3 超低摩擦机理
4.5 本章小结
第5章 DLC膜的硫化处理及超低摩擦行为
5.1 概述
5.2 DLC膜表面的硫化处理
5.2.1 DLC膜的制备
5.2.2 表面硫化处理
5.2.3 结构表征
5.3 DLC膜的摩擦学性能
5.3.1 掺氮DLC膜
5.3.2 表面硫化的DLC膜的结构
5.3.3 表面硫化的DLC膜的摩擦学性能
5.3.4 表面硫化机理
5.4 本章小结
第6章 油润滑下DLC膜的超低摩擦行为
6.1 概述
6.2 PAO油
6.2.1 PAO油选择
6.2.2 黏度
6.3 PFPE油
6.3.1 摩擦特性
6.3.2 磨损特性
6.4 纳米润滑添加剂
6.4.1 添加剂特性
6.4.2 添加剂种类
6.4.3 添加剂含量
6.4.4 润滑机理
6.5 固液复合超滑行为
6.5.1 纳米添加剂含量
6.5.2 超滑机理
6.6 高温工况下固液复合润滑
6.6.1 不同润滑油
6.6.2 不同温度
6.7 本章小结
第7章 高温下DLC膜的超低摩擦行为
7.1 概述
7.2 DLC膜的高温超滑行为
7.2.1 高温摩擦特性
7.2.2 高温磨损特性
7.2.3 高温磨损分析
7.2.4 高温热力学特性
7.2.5 高温摩擦磨损机理
7.3 本章小结
第8 章 DLC膜的高温超低摩擦机理
8.1 概述
8.2 高温摩擦试验方案设计
8.3 超低摩擦设计
8.3.1 摩擦副设计
8.3.2 单晶Si片
8.3.3 无定形Si膜
8.3.4 掺杂Si的DLC膜
8.4 高温超低摩擦行为
8.4.1 大气环境
8.4.2 氮气环境
8.5 磨损表面分析
8.5.1 拉曼光谱
8.5.2 EDS分析
8.5.3 XPS分析
8.5.4 TOF-SIMS分析
8.6 高温超低摩擦机理
8.6.1 摩擦配副材料
8.6.2 高温摩擦学化学机理
8.6.3 高温超低摩擦形成条件
8.7 本章小结
参考文献
名词索引
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