《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》共分为12章，从第1章共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括：第2章的一分为二微波功分器，第3章的间接加热热电式功率传感器，第4章的直接加热热电式功率传感器，第5章的电容式功率传感器，第6章的电容式和热电式级联功率传感器，以及集成MEMS系统，第7章的在线电容耦合式微波功率检测器，第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器，第9章微波相位检测器和第10章微波频率检测器，第11章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究；最后，第12章进行了总结和展望。由于集成的MEMS相位检测器和集成的MEMS频率检测器研究都是基于MEMS微波功率传感器技术，因此，《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》用较大篇幅来诠释MEMS微波功率传感器及其集成的微波功率检测器的研究。
　　《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》所涵盖的学术成果在本专业国际上的重要学术期刊，以及国际重要学术会议上已发表，同时，书中所提出的结构新颖，创新性突出，已获得中华人民共和国国家发明专利授权，应用价值高。《微电子机械微波通讯信号检测集成系统》适合高校电子、通讯和仪器专业的研究生和本科生作为教材和参考书，同时，也可作为相关专业的科研人员和工程技术人员的参考书。

第1章 设计理论和实现方法
1．1 共面波导的设计理论和实现方法
1．2 模型的建立方法
1．2．1 微波集总模型
1．2．2 微波-热-电转换模型
1．2．3 微波-力-电转换模型
1．3 与GaAs MMIC兼容的MEMS工艺
1．4 微波、热电势和力的测试平台
1．5 系统级S参数模型
1．6 MEMS集成的微波功率检测器在微波接收机前端的应用
1．7 MEMS集成的微波相位检测器在锁相环中的应用
1．8 MEMS集成的微波频率检测器在微波接收检测中的应用
1．9 小结
参考文献

第2章 微波功率分配器
2．1 引言
2．2 微波功率分配器的模拟和设计
2．3 微波功率分配器的性能测试
2．4 微波功率分配器的系统级S参数模型
2．5 小结
参考文献

第3章 MEMS间接加热热电式微波功率传感器
3．1 引言
3．2 MEMS间接加热热电式微波功率传感器
3．2．1 MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计
3．2．2 MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试
3．2．3 MEMS间接加热热电式微波功率传感器的系统级S参数模型
3．3 频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器
3．3．1 频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计
3．3．2 频率补偿型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试
3．4 无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器
3．4．1 无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设讨
3．4．2 无线接收型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试
3．5 三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器
3．5．1 三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计
3．5．2 三通道型MEMS间接加热热电式微波功率传感器的性能测试
3．6 小结
参考文献

第4章 MEMS直接加热热电式微波功率传感器
4．1 引言
4．2 MEMS直接加热热电式微波功率传感器的模拟和设计
4．2．1 结构和原理
4．2．2 模拟和设计
4．3 MEMS直接加热热电式微波功率传感器的测试
4．3．1 微波性能的测试
4．3．2 灵敏度的测试
4．3．3 响应时间的测试
4．4 MEMS直接加热热电式微波功率传感器的系统级S参数模型
4．4．1 系统级S参数模型的建立
4．4．2 微波频率、隔直电容和热电堆的电阻对模型的影响
4．5 小结
参考文献

第5章 MEMS电容式微波功率传感器
5．1 引言
5．2 MEMS固支梁电容式微波功率传感器
5．2．1 MEMS固支梁电容式微波功率传感器的模拟和设计
5．2．2 MEMS固支梁电容式微波功率传感器的性能测试
5．3 MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器
5．3．1 MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的模拟和设计
5．3．2 MEMS悬臂梁电容式微波功率传感器的性能测试
5．4 MEMS电容式微波功率传感器的系统级S参数模型
5．5 小结
参考文献

第6章 MEMS级联微波功率传感器
6．1 引言
……
第7章 MEMS在线电容耦合式微波功率检测器
第8章 MEMS在线定向耦合式毫米波功率检测器
第9章 MEMS微波相位检测器
第10章 MEMS微波频率检测器
第11章 MEMS封装
第12章 总结和展望