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微纳米制造技术及应用
￥0.00    
图书来源: 浙江图书馆(由图书馆配书)
  • 配送范围:
    全国(除港澳台地区)
  • ISBN：
    9787030457516
  • 作      者：
    张德远等编著
  • 出 版 社 ：
    科学出版社
  • 出版日期：
    2015
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内容介绍
微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。本书文字通俗易懂、并配有大量的图解，有利于读者对各知识点的理解、掌握和运用；参考文献翔实，适于读者拓展阅读。
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