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书       名 :
著       者 :
出  版  社 :
I  S  B  N:
文献来源:
出版时间 :
微制造与纳米技术
0.00    
图书来源: 浙江图书馆(由图书馆配书)
  • 配送范围:
    全国(除港澳台地区)
  • ISBN:
    9787111503576
  • 作      者:
    (印)N.P. 马哈里克(N.P. Mahalik)等著
  • 出 版 社 :
    机械工业出版社
  • 出版日期:
    2015
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编辑推荐
《微制造与纳米技术》一书用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。通观全书不仅具有权威性,而且内容丰富、理论深入浅出、实用性强,是广大微制造与纳米技术领域工作者和有关院校师生比较理想的一本参考书。
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内容介绍
《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统(MEMS)、微光机电系统(MOEMS)、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。
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目录
译丛序言
译者的话
前言
第1章导论
11背景介绍
12概述
121精密工程
122微铣削和微型钻孔
13微机电系统
14微电子制造方法
141体微加工
142表面微加工
15微型化仪器
16微机械电子
17纳米修整
18光变图像
19微能源和化学系统
110空间微推进
111电子束纳米印刷
112纳米技术
113碳纳米管及其结构
114分子逻辑门
115纳米尺度生物传感器
116C60及其衍生物的化学
交联
117燃料电池
118参考文献
第2章微机电系统与微光机电
系统原理21概述
22执行器的驱动原理
23制造工艺
24机械微机电系统
241机械传感器
242加速度计、悬臂式
传感器和电容测量
243扬声器
244陀螺仪
245机械执行器
25热微机电系统
251计温学
252数据存储应用
253微型加热器气体
传感器
254热执行器
26磁微机电系统
27微光机电系统
28空间光调制器
29数字微镜设备
210光栅光阀(GLV)
211参考文献
第3章微制造中的激光技术
31概述
32激光的产生
33激光的特性
331单色性
332方向性
333亮度
334相干性
335空间分布
336时间脉冲波形
34激光应用
35微加工中的激光技术
微制造与纳米技术目录351背景
352激光的吸收和反射
353应用技术基础
36参考文献
第4章激光干涉仪几何误差
软补偿41概述
42几何误差校正概述
421误差测量系统
422精度评价
43几何误差补偿方法
431几何误差查找表
432几何误差参数模型
44实验结果
441误差近似
442线性误差
443直线度误差
444角度误差
445垂直度误差
446评价
45小结
46参考文献
第5章体微加工中的蚀刻工艺
表征51概述
52体微加工的发展历史
53湿法体微加工(WBM)
54晶体学及其影响
55硅作为基板与结构材料
551硅作为基板
552硅作为结构材料
553应力与应变
554硅的热力学性质
56湿法蚀刻流程
561各向同性蚀刻剂
562反应现象
563各向同性蚀刻曲线
564掩膜
565依赖型掺杂蚀刻剂
57各向异性蚀刻
571各向异性蚀刻剂
572各向异性蚀刻剂
掩膜
58蚀刻控制:停止技术
581硼扩散蚀刻停止
582电化学蚀刻自停止
技术
583薄膜与绝缘硅蚀刻
停止
59体微加工中蚀刻存在的
问题
591基板面消耗
592角补偿
510小结
511参考文献
第6章表面微加工和晶片粘合
工艺的特点61概述
62光刻工艺
63表面微加工
64表面微加工工艺特点
641隔离层
642牺牲层
643结构材料
644选择性蚀刻
65特性
651附着力
652应力
653黏滞
66晶片键合
661阳极键合
662融化键合
67小结
68参考文献
第7章文件安全领域微加工:
光变图像71引言
72概述
73光变图像箔微结构
731防伪全息图
732KinegramTm技术
733CatpixTm电子束光刻微
结构
734结构稳定性
735PixelgramTM调色
概念
736基于ExelgramTM轨道
的光变图像微结构
737隐蔽图片显微图像
安全特征
738KinegramTM和ExelgramTM
的比较
739VectogramTM图像多路
复用技术
7310间隙刻槽单元
调制
74通用的光变图像微结构
741光变油墨技术
742衍射数据箔
743生物识别光变图像
技术
75光学图像单元编码表面纳米
制造
751微镜光变图像
752微镜光变图像的
起源
753微镜光变图像光学效应
总结
76小结
77参考文献
第8章纳米修整技术
81概述
82传统加工工艺
821研磨
822抛光
823珩磨
83高级修整工艺(AFPs)
831磨料流加工
(AFM)
832磁力研磨(MAF)
833磁流变加工
(MRF)
834磁流变磨料流修整
(MRAFF)
835磁悬浮抛光
(MFP)
836弹性喷射加工
(EEM)
837离子束加工
(IBM)
838化学机械抛光
(CMP)
84参考文献
第9章微纳米技术在空间微推进
系统中的应用91概述
92微型化航天器微推动的子
系统和设备
93推进系统
931固体推进剂
932冷气体
933胶体推进器
934热气体
935单组元和双组元推进
系统
936再生加压循环
937姿态调整与控制
系统
94冷气体微推进器的实现
941气体和流体动力学
942原型设计
95小结
96参考文献
第10章碳纳米管的制造和应用:
纳米技术基础101概述
102纳米技术和碳纳米管
的前景
103碳纳米管的研究进展
104碳纳米管的结构
和属性
105碳纳米管的制备
1051化学气相沉积
1052电弧放电
1053激光烧蚀
1054生长机理
1055碳纳米管提纯
106碳纳米管的应用
1061场效应管中碳纳米管
的电子输运
1062在计算机中的
应用
1063基于碳纳米管的纳米
器件在生物医学中的
应用
1064X射线仪
1065基于碳纳米管的纳米
机械执行器和人工
肌肉
1066燃料电池
1067膜电极组
1068基于CNTs的双极板
机械和电气强化
1069在碳纳米管中
储氢
107参考文献
第11章碳基纳米结构
111概述
112富勒烯的历史
113碳纳米管的结构
(CNTs)
1131Y形
1132双螺旋形
1133竹节形
1134分层结构
1135环形多壁碳
纳米管
1136圆锥端帽形多壁碳纳
米管
114富勒烯的结构
1141C48富勒烯结构
1142环形富勒烯
1143C60、C59、C58、C57
的结构
1144较小的富勒烯C50
115碳纳米球(CNBs)的
结构
116碳纳米纤维(CNFs)的
结构
1161六边形碳纳米
纤维
1162锥形碳纳米纤维
1163螺旋形碳纳米
纤维
117多孔碳
118碳纳米结构的性质
1181分子性质
1182电子性质
1183光学性质
1184力学性能
1185周期性
119合成
1191碳纳米管
1192富勒烯
1193碳纳米球
1194碳纳米纤维
1110碳纳米结构的应用
前景
11101能量存储
11102储氢
11103嵌锂
11104电化学超级电容
11105碳纳米管的分子电
子学
1111复合材料
1112小结
1113参考文献
第12章分子逻辑门
121概述
122逻辑门
123荧光分子逻辑电路
124组合逻辑电路
125可重构分子逻辑
126基于分子逻辑门
的吸收
127分子逻辑门:导电
128小结
129参考文献
第13章用于生物传感器的纳米
力学悬臂装置131概述
132原理
133静态变形法
134共振模式法
135热检测法
136微型品制造
1361硅基悬臂
1362压阻式集成悬臂
1363压电式集成悬臂
137测量和输出技术
1371光学法
1372干涉测量法
1373压阻法
1374电容法
1375压电法
138生物传感
1381DNA探测
1382蛋白质检测
1383细胞检测
ⅩⅧ微制造与纳米技术目录ⅩⅦ139小结
1310参考文献
第14章微型能源和化学系统
(MECS)和多尺
度制造141概述
142微能源和化学系统
(MECS)
1421MECS器件的物质与
热量传递
1422MECS技术的
应用
143MECS制造
1431困难与挑战
1432特征尺寸
1433微层压技术
144微层压技术的尺寸
控制
1441图形化对微通道阵列
性能的影响
1442理论
1443微通道加工
1444试验结果
145微通道阵列中的
翘曲源
1451分析
1452试验结果
146配准与粘接对微通道阵列
性能的影响
147微通道阵列的几何
约束
148微层压技术的经济
价值
149参考文献
第15章雕塑薄膜
151概述
152雕塑薄膜的生长
1521实验和现象
1522计算机模拟
153光学特性
1531理论
1532特征行为
154应用
1541光学
1542化学
1543电学
1544生物学
155小结
156参考文献
第16章电子束蚀刻技术与纳米装
配——精密化学
工程161概述
162电子束辐射
1621聚合物材料
1622分子材料
163自组装单层膜
164结语和展望
165参考文献
第17章倏逝近场纳米光刻
技术171概述
172发展历史
173ENFOL技术原理
174掩膜的制作和要求
175图案形成
1751曝光条件
1752光刻胶要求
1753克服衍射极限
176图案转移
1761减法图案转移
1762加法图案转移
177模拟
1771模拟方法和模型
1772强度分布
1773场深度(DOF)
1774边界强化带来的曝光
差异
178表面等离子体纳米
光刻
1781倏逝干涉光刻技术
(EIL)
1782平面透镜光刻技术
(PLL)
1783表面等离子体增
强接触式光刻
(SPECL)
179小结
1710参考文献
第18章纳米技术在燃料电池上
的应用181现状与需求
182多相催化中的纳米
粒子
183碳载体铂催化剂的氧化
电解还原反应
184碳纳米管载体催化剂
185小结
186参考文献
第19章碳纳米管与胺衍生:一种
无溶剂技术191概述
192实验设计
193氧化单壁碳纳米管管
端羧基功能团的直
接酰胺化
194原始多壁碳纳米管端帽和
壁缺陷直接胺加成
195小结
196参考文献
第20章C60薄膜中化学交联
201概述
202实验
ⅩⅩ微制造与纳米技术目录ⅩⅨ2021分析仪器
2022富勒烯薄膜沉积
2023与(1,8)辛二胺
反应
203结果与讨论
2031(1,8)辛二胺衍生C60
粉末
2032(1,8)辛二胺衍生
C60薄膜
204小结
205参考文献
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