《MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书：MEMS集成设计技术及应用》：
其特色功能如下：
（1）通过配置视图支持数模混合设计。
（2）返标寄生参数的提取结果。
（3）预定义寄生参数及预模拟。
（4）返标跟踪LVS的出错点。
（5）由网表自动产生原理图。
（6）节点波形的跟踪查询。
（7）拥有强大的设计能力：分层分页式设计；数组命名例化元件；按名连接线网；参数化传递器件属性值。
（8）提供灵活的编辑功能：自动布线及多种连线方式；跟踪标记信号线；层次查找及替换元件及属性值；阵列式摆放例化元件；自定义打印边框样式。
另外在性能上原理图编辑器可准确且快速地导入／导出业界标准的网表格式，与主流原理图编辑器相当。图2.2为通过原理图编辑器Zeni—SE对MEMS陀螺系统搭建系统级模型图。
2.2.2系统级异构建模技术
系统级设计对于预测MEMS器件性能非常必要，结构化设计方法的系统级建模与仿真往往依赖于参数化组件库。然而，对于绝大部分MEMS，仅单独使用参数化组件库一般无法构建完整的系统级模型。基于此，笔者提出基于参数化组件库、宏模型和方程自主定义的系统级多域异构建模方法：采用组件库建立规则功能部件及接口、控制电路的模型；采用宏模型建立复杂功能部件的模型，并通过模型方程自主定义支持设计者自主建立的模型；按照MEMS系统的原始拓扑对参数化组件、宏模型、自主定义模型进行互连，以实现MEMS的系统级异构建模与仿真。其建模与仿真流程图如图2.3所示，系统级异构建模与仿真方法包括以下步骤：
（1）将MEMS划分为微机械和电子电路。
（2）按功能或几何形状将器件分解为规则几何部件和不规则几何部件。
（3）采用参数化组件库建立规则几何部件的模型。
（4）采用宏模型建立不规则几何部件的模型。
（5）将宏模型和参数化模型按MEMS器件的原始拓扑进行互连，建立MEMS器件的系统级异构模型。
（6）将电子电路进行分解，并采用标准电路元件库建立电子电路的模型。
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